
池田屋精品!IKO 对准平台 SA65DE/1X 该产品为紧凑型低矮XYθ三轴对准平台,采用直驱系统驱动,结合高分辨率线性光栅尺和全闭环控制,实现无反冲的高精度定位,重复定位精度±0.5μm,适用于半导体制造、液晶面板设备及图像处理对准等精密应用。
IKO NanoLinear 直线电机工作台 NT88H 该产品为动磁式超高精度直线电机定位台,采用IKO十字滚轮导轨与高分辨率直线编码器,实现重复定位精度±0.1μm、定位精度1μm的高精度定位,适用于半导体制造、液晶面板检测设备及电子元件组装等对精度有高要求的应用。
IKO NanoLinear 取放单元 NT90XZH 该产品为高推力直线电机驱动的XZ双轴取放单元,将X轴和Z轴紧凑集成于一体,采用连杆机构驱动移动工作台,实现直线电机高推力和轻量化运动部件,缩短循环时间,适用于半导体制造、液晶面板设备及电子元件组装等高速精密取放应用。
IKO NanoLinear 直线电机工作台 NT55V 该产品为紧凑型直线电机驱动定位台,采用高性能钕磁铁实现最大推力25N,最高速度1300mm/s,重复定位精度±0.5μm,适用于半导体制造、液晶面板相关设备及洁净环境下的检测和装配应用。
池田屋精品!IKO 旋转台 SK120W 该产品采用蜗轮蜗杆机构实现无限旋转,旋转导向部分采用IKO交叉滚子轴承并直接与工作台连接,实现高精度旋转跳动、高刚性和低截面尺寸,适用于精密定位、光学对准及自动化设备中的旋转定位应用。
IKO 微型精密定位台 TM15-20 该产品为小级别的精密定位台,集成轨道宽度2mm的IKO微型线性导轨L和轴径2mm的精密研磨滚珠丝杠,重复定位精度±0.001mm,适用于超小型设备、精密测量及光学定位等对空间有严格要求的应用。
池田屋精品!IKO 精密定位台 TS125/125 该产品为单轴精密定位台,将IKO十字滚柱导轨集成到高刚性铸铁滑台和床身中,采用精密滚珠丝杠驱动,重复定位精度±0.002mm,适用于精密测量仪器、精密装配机械等高精度定位应用。
池田屋精品!IKO 高精度定位台 TX120M 该产品以高精度定位台LH为基础,结合IKO线性滚道超级X和全闭环控制,实现重复定位精度±0.0005mm的超高精度定位,适用于半导体制造、精密测量等高精度要求应用。
池田屋精品!IKO 对准台 AT120 该产品为高精度旋转定位机构,专为精确角度校正而设计,采用高刚性钢制工作台和床身,集成IKO交叉滚子轴承,将滚珠丝杠驱动的直线运动转换为圆周运动,实现工作台的高精度旋转定位。
池田屋精品!IKO 对准模块 AM25 该产品为高精度定位模块,结合精密定位台TU、高刚性交叉滚子轴承和线性导轨E,行程30mm,重复定位精度±0.002mm,高度尺寸公差精确控制在±10μm,适用于对精度有严格要求的对准平台配置。