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池田屋精品！IKO 高精度定位台 TX120M
池田屋精品！IKO 高精度定位台 TX120M
池田屋推出IKO（日本汤姆逊株式会社）品牌TX120M高精度定位台。该产品以高精度定位台LH为基础，结合IKO线性滚道超级X和全闭环控制，实现重复定位精度±0.0005mm的超高精度定位，适用于半导体制造、精密测量等高精度要求应用。
一、产品概述
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 产品名称 | 高精度定位台 |
| 型号 | TX120M |
| 品牌 | IKO（日本汤姆逊株式会社） |
| 驱动方式 | 滚珠丝杠驱动 |
| 滚珠丝杠导程 | 5mm / 10mm |
| 重复定位精度 | ±0.0005mm（±0.001mm无线性编码器） |
| 定位精度 | 0.003mm（0.006mm无线性编码器） |
| 行走平行度 | 0.005mm |
| 背隙 | 0.001mm |
| 姿态精度 | 5秒 |
二、行程与精度
| 行程 | 重复定位精度 | 定位精度 | 行走平行度 |
|---|---|---|---|
| 100mm | ±0.0005mm | 0.003mm | 0.005mm |
| 150mm | ±0.0005mm | 0.003mm | 0.005mm |
| 200mm | ±0.0005mm | 0.004mm | 0.006mm |
| 250mm | ±0.0005mm | 0.004mm | 0.006mm |
| 300mm | ±0.0005mm | 0.004mm | 0.006mm |
*括号内为无线性编码器时的值。
三、最高速度（安川电机，带增量式线性编码器）
| 线性编码器分辨率 | 导程5mm | 导程10mm |
|---|---|---|
| 0.0156μm | 62.5mm/s | 62.5mm/s |
| 0.0312μm | 125mm/s | 125mm/s |
| 0.0625μm | 250mm/s | 250mm/s |
| 0.125μm | 500mm/s | 500mm/s |
*括号内数值适用于TX320M/TX420M。
四、最大有效载荷质量（水平方向，导程5mm）
| 负载中心高度 | 最大有效载荷 |
|---|---|
| 0mm | 254kg |
| 100mm | 96kg |
| 200mm | 56kg |
| 300mm | 40kg |
五、最大有效载荷质量（水平方向，导程10mm）
| 负载中心高度 | 最大有效载荷 |
|---|---|
| 0mm | 154kg |
| 100mm | 74kg |
| 200mm | 43kg |
| 300mm | 31kg |
*最大负载能力根据导轨、滚珠丝杠额定寿命计算（电机转速3000min⁻¹、加减速时间0.2s、连续运行18,000小时）。
六、核心特点
超高重复定位精度：重复定位精度±0.0005mm（全闭环控制），满足顶级精密定位需求。
全闭环控制：配备线性编码器实现全闭环控制，消除滚珠丝杠误差，实现高的定位精度。
高刚性结构：以高精度定位台LH为基础，结合IKO线性滚道超级X，实现高级别的行走性能。
高负载能力：最大有效载荷254kg（导程5mm，负载中心0mm），可承载重型工件。
多种行程选择：行程100～300mm可选，适配不同应用需求。
姿态精度优异：姿态精度5秒，确保角度定位精度。
七、典型应用场景
| 应用领域 | 具体用途 |
|---|---|
| 半导体制造 | 晶圆精密定位、检测 |
| 精密测量 | 高精度测量仪器定位 |
| 光学设备 | 精密光路调整 |
| 液晶面板制造 | 面板精密定位 |
| 电子元件组装 | 高精度贴装 |
| 医疗器械 | 精密定位驱动 |
| 科研实验 | 超高精度定位实验 |
八、使用注意事项
实际最高速度需考虑电机特性、负载条件等因素
垂直方向使用时负载能力会降低，需参考产品目录
无线性编码器时重复定位精度为±0.001mm
支持多种电机品牌（安川、三菱、松下）
可选配绝对式线性编码器
双轴规格可定制
池田屋表示，IKO TX120M高精度定位台凭借±0.0005mm超高重复定位精度、全闭环控制及高刚性结构，可满足半导体制造、精密测量等顶级精密定位需求。
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