池田屋精品！IKO 对准平台 SA65DE/1X
该产品为紧凑型低矮XYθ三轴对准平台，采用直驱系统驱动，结合高分辨率线性光栅尺和全闭环控制，实现无反冲的高精度定位，重复定位精度±0.5μm，适用于半导体制造、液晶面板设备及图像处理对准等精密应用。

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