- 诚信经营
- 用心服务
- 品质保障
服务热线：
17607554908
服务热线：
17607554908
在线咨询
联系电话：0755-22220216
IKO NanoLinear 直线电机工作台 NT88H
IKO NanoLinear 直线电机工作台 NT88H
池田屋推出IKO（日本汤姆逊株式会社）品牌NanoLinear NT88H直线电机工作台。该产品为动磁式超高精度直线电机定位台，采用IKO十字滚轮导轨与高分辨率直线编码器，实现重复定位精度±0.1μm、定位精度1μm的精度定位，适用于半导体制造、液晶面板检测设备及电子元件组装等对精度有要求的应用。
定位精度
通过在工作台导轨部分采用滚柱式“齿轮齿条内置十字滚柱导轨"，实现了接近气液轴承的高刚性和无脉动运行。这使得因运动引起的姿态变化极小，并具有出色的位置重复性。
定位精度达到1微米或更低，运动直线度高。
通过对每个部件的精度进行严格把控，并以精确的方式进行组装，我们实现了小于 1 μm 的定位精度和运行直线度。
高速稳定性
采用运行极其平稳的齿轮齿条式集成十字滚轮导轨、无芯动磁式直线电机和高性能伺服驱动器，实现了高速稳定性（10mm/s运动速度下误差小于±1%）。
| 格式 | 高精度 NT...H 型 | |||
|---|---|---|---|---|
| NT88H25 | NT88H65 | |||
| 格式和尺寸 |  |  | ||
横截面形状 |  | |||
| 最大推力 N | 二十五 | 二十五 | ||
| 额定推力 N | 5 | 5 | ||
| 最大有效载荷（公斤） | 5 | 5 | ||
| 有效行程长度（毫米） | 二十五 | 65 | ||
| 分辨率微米 | 0.01 | 0.05 | 0.01 | 0.05 |
| 最大速度 毫米/秒 | 90 | 400 | 90 | 400 |
| 重复定位精度（微米级） | ±0.1 | ±0.1 | ||
我的位置：