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IKO NanoLinear 取放单元 NT90XZH
IKO NanoLinear 取放单元 NT90XZH
池田屋推出IKO(日本汤姆逊株式会社)品牌NanoLinear NT90XZH取放单元。该产品为高推力直线电机驱动的XZ双轴取放单元,将X轴和Z轴紧凑集成于一体,采用连杆机构驱动移动工作台,实现直线电机高推力和轻量化运动部件,缩短循环时间,适用于半导体制造、液晶面板设备及电子元件组装等高速精密取放应用。
一、产品概述
| 项目 | X轴 | Z轴 |
|---|---|---|
| 最大推力 | 70N(持续时间1秒) | — |
| 额定推力 | 自冷式:16N / 风冷式:20N | — |
| 最大有效载荷 | — | 0.2kg |
| 有效行程 | 25mm | 10mm |
| 分辨率 | 0.1μm / 0.5μm | 0.1μm / 0.5μm |
| 最大速度 | 270 / 1000(高速)/ 1300mm/s | 270 / 1000(高速)/ 1000mm/s |
| 重复定位精度 | ±0.5μm | ±0.5μm |
| 运动部质量 | 0.38kg | 0.35kg |
二、环境条件
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 工作温度 | 0~40℃ |
| 工作湿度 | 20~80%RH(无结露) |
| 总质量 | 约2.8kg(不含电线) |
三、核心特点
XZ双轴一体化设计:将X轴和Z轴紧凑集成于一体,节省安装空间,适用于有限空间内的取放操作。
高推力直线电机驱动:最大推力70N(X轴),额定推力自冷式16N/风冷式20N,实现高速、高响应的取放运动。
轻量化运动部件:采用连杆机构驱动移动工作台,实现直线电机高推力和轻量化运动部件,缩短循环时间。
高重复定位精度:重复定位精度±0.5μm,满足精密取放定位要求。
高速度运行:X轴最高速度1300mm/s,Z轴最高速度1000mm/s,实现高速取放操作。
灵活行程调整:通过输入定位程序实现多种操作模式,可轻松调整行程以匹配工件。
洁净环境适用:适用于半导体和液晶显示器制造设备等需要洁净环境的取放应用。
四、典型应用场景
| 应用领域 | 具体用途 |
|---|---|
| 半导体制造 | 晶圆搬运、精密取放 |
| 液晶面板制造 | 面板取放、定位 |
| 电子元件组装 | 高速精密取放 |
| 检测设备 | 精密定位与取放 |
| 装配设备 | 高速装配取放 |
| 洁净环境设备 | 无尘室内的取放操作 |
五、使用注意事项
最大推力持续时间为1秒
风冷式额定推力在气流速率20NL/min时有效
最大速度根据控制器和驱动器设置可能无法达到
重复定位精度在产品温度保持恒定时有效
工作环境温度0~40℃,湿度20~80%RH(无结露)
总质量不含电线重量
Z轴运动部质量含可移动部件
池田屋表示,IKO NanoLinear NT90XZH取放单元凭借XZ双轴一体化设计、最大推力70N及±0.5μm重复定位精度,可满足半导体、液晶面板制造等高速精密取放应用需求。