池田屋新品VAT 64.2 HV高压控制闸阀正式发布

摘要：
近日，池田屋实业有限公司宣布正式推出瑞士VAT公司64.2 HV系列高压控制闸阀（型号：64240-PEAG）。该产品专为半导体生产中溅射、刻蚀等高循环真空工艺的可靠控制与隔离设计，集成压力控制器与步进电机，压力控制范围覆盖1×10⁻⁸mbar至2bar（绝对压力），阀体采用不锈钢材质，配备VATLOCK无摩擦密封技术，保养前操作周期达120万次。该型号专为高要求真空工艺设计，为半导体与显示制造领域提供高可靠性、长寿命的真空控制与隔离解决方案。

正文：

在半导体制造、平板显示及先进薄膜沉积等真空工艺中，真空控制闸阀承担着工艺压力精确控制与腔室气体隔离的双重任务。溅射、刻蚀等高循环真空工艺对阀门的耐久性、密封可靠性及控制精度提出了要求——阀门不仅需要在高频次开关循环中保持密封性能，还需在工艺过程中实现精确的压力调节。传统闸阀在密封磨损、控制响应及维护周期方面存在局限，难以满足先进制程的严苛需求。针对这一行业需求，池田屋实业有限公司正式引入瑞士VAT公司64.2 HV系列高压控制闸阀（型号：64240-PEAG）。该产品的推出，为真空工艺提供了兼具高循环耐久性、精确控制与低维护成本的真空控制与隔离解决方案。

型号64240-PEAG的核心技术优势在于其VATLOCK无摩擦密封技术与高循环设计的创新结合。该产品采用VATLOCK技术，可在阀板处实现无摩擦的可靠密封，有效减少密封件磨损，显著延长阀门使用寿命。阀板在控制模式下作为节流元件调节开度，内置压力控制器自动计算达到设定压力所需的阀板位置，步进电机驱动阀板运动，编码器实时监控位置，实现快速、精确的过程压力控制。特殊锁定机构在阀门关闭时确保密封，并在断电情况下实现故障安全关闭，保障工艺安全。压力控制范围覆盖1×10⁻⁸mbar至2bar（绝对压力）（DN100-200），适配从高真空到低真空的宽范围压力控制需求。阀体采用AISI 304不锈钢材质，具有优异的耐腐蚀性与机械强度。阀体最高耐受温度150℃，控制器建议工作温度≤50℃（建议≤35℃）。保养前操作周期达120万次（压力控制/开关），具有优异的长期可靠性。

在结构设计与安装灵活性层面，64.2 HV系列同样表现。产品尺寸覆盖DN 100至DN 400（4英寸至16英寸），法兰标准包括ISO-F、CF-F、ASA-LP/ASA及JIS等多种选项，便于与不同标准的真空系统对接。执行器与控制器可安装在不同位置，满足有限安装空间的需求。

从典型应用场景来看，型号64240-PEAG适用于半导体PVD溅射工艺的压力控制与隔离、等离子体刻蚀工艺的真空控制、薄膜沉积腔室的高循环隔离，以及需要高可靠性真空控制的先进封装与显示制造等场景。池田屋技术团队指出，64.2 HV系列在精密测量与自动化控制方面表现稳健，是高循环真空工艺控制与隔离的理想选择。

池田屋实业有限公司表示，此次将VAT 64.2 HV系列高压控制闸阀引入国内市场，旨在为本土半导体与制造企业提供兼具高循环耐久性、精确控制与低维护成本的真空控制流体管理解决方案。未来，池田屋将持续围绕精密测量、自动化控制与流体管理三大方向深耕，助力中国半导体与显示制造的真空工艺升级与效能提升。