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池田屋 神津KOHZU 晶圆/基板形状测量系统 DY-3001YM DY-3001YM是神津精机(Kohzu Precision)推出的一款高精度形状/厚度测量系统,采用飞点式扫描测量方式,支持最大□300mm的样品尺寸。
池田屋 神津KOHZU 晶圆形状测量系统 DY-2000RC DY-2000RC/DY-3000RC是神津精机(Kohzu Precision)Dyvoce系列推出的CtoC(Cassette-to-Cassette)全自动晶圆形状/厚度测量系统。
池田屋 神津KOHZU 手动精密对准装置 FM6-53-L/R FM6-53-L/R是神津精机(Kohzu Precision)推出的一款紧凑型六轴手动精密对准装置,专为光纤对准等精密定位应用而开发。
池田屋 神津KOHZU 手动旋转平台 SH16A-RS SH16A-RS是神津精机(Kohzu Precision)蒙布朗(Mont Blanc)系列中的一款大型手动旋转(测角)平台,由上层SH16A-RT摆动平台与下层SH16A-RM摆动平台组合而成。
池田屋 神津KOHZU 自动旋转平台 SA16A-RS01 SA16A-RS01是神津精机(Kohzu Precision)蒙布朗(Mont Blanc)系列中的一款大型自动旋转(测角)平台,由上层SA16A-RT01摆动平台与下层SA16A-RM01摆动平台组合而成。
池田屋 神津KOHZU 手动旋转平台 RM16A-C3 RM16A-C3是神津精机(Kohzu Precision)蒙布朗(Mont Blanc)系列中的一款高精度手动旋转平台,采用精密交叉滚子轴承和FPP03-13精细螺距定位器驱动,实现粗调360°连续旋转与微调±3°精密角度定位的组合。
池田屋 神津KOHZU 自动旋转平台 RA20A-WH01 RA20A-WH01是神津精机(Kohzu Precision)蒙布朗(Mont Blanc)系列中的一款大型高精度自动旋转平台,采用蜗轮蜗杆传动系统(1/180减速比)和精密角接触轴承,实现高精度旋转定位。
池田屋 神津KOHZU 自动Z轴平台 ZA16A-32F01 ZA16A-32F01是神津精机(Kohzu Precision)蒙布朗(Mont Blanc)系列中的一款高刚性自动Z轴平台,采用蜗轮蜗杆升降机构和四面扁平滚轮导轨,实现高刚性和高精度的垂直定位。
池田屋 神津KOHZU 手动XY平台 YM16A-C1 YM16A-C1是神津精机(Kohzu Precision)蒙布朗(Mont Blanc)系列中的一款高精度手动XY平台,采用精密交叉滚柱导轨和千分尺头(25mm)驱动系统,实现平滑的二维手动定位。
池田屋 神津KOHZU 自动XY平台 YA10A-L101 YA10A-L101是神津精机(Kohzu Precision)蒙布朗(Mont Blanc)系列中的一款高精度自动XY平台,采用精密直线导轨和研磨丝杠(导程1.0mm),实现高分辨率定位。