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池田屋 神津KOHZU 晶圆/基板形状测量系统 DY-3001YM
池田屋 神津KOHZU 晶圆/基板形状测量系统 DY-3001YM
| 模型 | DY-3001XY-xxx | |
| 测量项目 | 表面形状、厚度和半标准测量（SORI/BOW/WARP/GBIR 等） | |
| 测量目标 | 半导体材料（晶圆）如 Si/SiC/GaN/Ga2O3/LT/LN/GaAS 和键合晶圆的翘曲和厚度； 透明材料如玻璃和石英 (SiO2) 的翘曲和厚度； 树脂材料如薄膜/树脂/粘合剂的翘曲和厚度； 金属部件和电子基板的平整度。 | |
| 支持的环境 | 洁净室 ISO 6 级（ISO 14644-1） | |
| 最大测量范围 | □300 [毫米] | |
| 最分辨率 | （XY） | 0.001 [毫米]（但是，最高分为 2500 万分 = 5000 分 x 5000 分） |
| （Z） | 0.01 [微米] *1*2 | |
| 测量尺度（最大值*3 / 最小值） | 200 毫米/秒* 3 / 1 毫米/秒 | |
| 移动速度（最大/最小） | 200 毫米/秒 / 1 毫米/秒 | |
| 主要成分 | • 主机（测量机构/位移传感器*4 /控制设备/电脑/安全罩） • 控制台（显示器/键盘/鼠标） • 测量软件 • 其他附件 | |
| 选项 | 工作支架*5 | • 适用于 12 英寸晶圆的三点支撑支架 • 适用于 12 英寸晶圆的吸盘式支架 • 适用于 12 英寸晶圆的多孔吸盘式支架 • 带 M6 矩阵螺纹孔的面包板工作台 • 其他定制支架/工作台*5 |
| 安全罩 | • 透明亚克力安全盖 | |
| 安慰 | 显示器/键盘支架 /机架桌 | |
| 电源规格*6 | AC100V 至 120V *7，-15% 至 +10% | |
| 功耗 | 1500瓦 | |
| 尺寸 | 宽：1203 × 深：902 × 高：1439（指示灯 1958）[毫米]（不含显示器和键盘） | |
| 重量 | 约450公斤 | |
*1 最小测量分辨率可能因所安装的传感器而异。
*2 本设备受出口管制条例约束。
*3 最大测量深度可能因所安装传感器的采样周期而异。
*4 有关可安装的主要位移传感器的详细信息，请联系我们。
*5 除表格中列出的夹具外，其他夹具均可定制生产。详情请联系我们。
*6 仅需交流电源即可使用。
*7 也可生产 200V 交流规格的产品；详情请联系我们。
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