池田屋！神津精机MVXA16A-R101真空兼容X轴平台 赋能真空环境高精度重载定位

池田屋精品！神津精机MVXA16A-R101真空兼容X轴平台 赋能真空环境高精度重载定位

池田屋精品！神津精机MVXA16A-R101真空兼容X轴平台 赋能真空环境高精度重载定位

摘要

池田屋实业（深圳）有限公司近日推出光洲精密（KOHZU Precision）MVXA16A-R101真空兼容X轴平台。该产品为采用精密十字滚柱导轨的真空兼容型自动X轴平台，台面尺寸160mm×124mm，移动范围±30mm，重复定位精度≤±0.5μm，水平承载能力294N（30kgf）。采用研磨丝杠（导程1.0mm）驱动，搭载真空用5相步进电机（额定电流1.4A/相），分辨率整步2μm/半步1μm（微步进1/20分割可达0.1μm），最高速度5mm/s。累积误差≤10μm/60mm，空程≤2μm，水平/垂直直线度≤2μm/60mm，背隙≤1μm。连接器采用真空兼容D-sub 9针规格，主体材质为铝合金，重量3.6kg。适用于真空腔体、半导体制造设备、薄膜沉积系统及表面分析仪器等真空环境下的高精度定位应用。

正文

在真空腔体、半导体制造设备、薄膜沉积系统及表面分析仪器等真空环境应用中，定位平台需要同时满足高精度运动控制与真空兼容性的双重严苛要求。标准定位平台在真空环境下容易发生放气、润滑失效或电机绝缘问题，无法满足10⁻⁵Pa至10⁻⁷Pa真空度的使用要求。针对真空环境下高精度定位的需求，池田屋实业（深圳）有限公司推出光洲精密（KOHZU Precision）MVXA16A-R101真空兼容X轴平台。该产品现已正式供应，为真空环境精密定位提供可靠的解决方案。

MVXA16A-R101是光洲精密推出的真空兼容型自动X轴平台，采用精密十字滚柱导轨系统，确保真空环境下的平稳运动与高刚性。台面尺寸160mm×124mm，移动范围±30mm，可满足真空腔体内较大行程的定位需求。水平承载能力294N（30kgf），适用于承载各类真空用工件与夹具。

在驱动与精度方面，MVXA16A-R101采用研磨丝杠（导程1.0mm）驱动，搭载真空用5相步进电机（额定电流1.4A/相，基本步距角0.72°）。分辨率整步2μm/半步1μm（微步进1/20分割可达0.1μm），最高速度5mm/s。重复定位精度≤±0.5μm，累积误差≤10μm/60mm，空程≤2μm，水平/垂直直线度≤2μm/60mm，背隙≤1μm。连接器采用真空兼容D-sub 9针规格（Accu-Glass Products: 9D-HVCP），确保真空环境下的电气连接可靠性。

在真空兼容性方面，该产品采用真空用5相步进电机与真空兼容连接器，主体材质为铝合金，重量3.6kg。产品在空气环境中进行精度检测，不适用于烘烤工艺。如需烘烤兼容规格，可联系光洲精密进行定制对应。

在应用场景方面，MVXA16A-R101适用于真空腔体内的X轴精密定位、半导体制造设备的真空工艺模块、薄膜沉积系统（如溅射、蒸镀设备）的基板定位、表面分析仪器（如XPS、AES、SEM）的样品台定位，以及各类需要真空环境与高精度定位的科研与工业应用。

MVXA16A-R101广泛应用于真空制造设备、半导体工艺、薄膜沉积系统及表面分析仪器等领域。光洲精密表示，MVXA16A-R101真空兼容X轴平台以精密十字滚柱导轨与真空兼容设计，为真空环境下的高精度定位提供了可靠的解决方案。