池田屋新品推出神津精密真空兼容旋转平台 MVRA16A-WH01

池田屋新品推出神津精密真空兼容旋转平台 MVRA16A-WH01

池田屋新品推出神津精密真空兼容旋转平台 MVRA16A-WH01

摘要

池田屋实业（深圳）有限公司近日推出光洲精密（KOHZU Precision）MVRA16A-WH01真空兼容旋转平台。该产品为采用蜗轮蜗杆传动系统与精密角轴承的真空兼容型自动旋转平台，台面尺寸φ158mm，旋转范围±170°，水平承载能力588N（60kgf）。搭载真空用5相步进电机（额定电流1.4A/相），分辨率整步0.004°/半步0.002°（微步进1/20分割可达0.0002°），最高速度10°/s。累积≤0.01°/360°，空程≤0.008°，角度再现性≤0.004°，，背隙≤0.004°，表面跳动≤20μm/360°，偏心≤10μm/360°。连接器采用真空兼容D-sub 9针规格，主体材质为铝合金，重量5.6kg。适用于真空腔体、半导体制造设备、薄膜沉积系统及表面分析仪器等真空环境下的高精度角度定位应用。

正文

在真空腔体、半导体制造设备、薄膜沉积系统及表面分析仪器等真空环境应用中，旋转定位平台需要同时满足高精度角度运动控制、高承载能力与真空兼容性的多重严苛要求。标准旋转平台在真空环境下常因润滑剂挥发、电机放气等问题无法满足10⁻⁵Pa至10⁻⁷Pa真空度的使用要求，且普通旋转台在承载能力与角度精度方面往往难以兼顾。针对真空环境下高精度大承载旋转定位的需求，池田屋实业（深圳）有限公司推出光洲精密（KOHZU Precision）MVRA16A-WH01真空兼容旋转平台。该产品现已正式供应，为真空环境高精度角度定位提供可靠的解决方案。

MVRA16A-WH01是光洲精密推出的真空兼容型自动旋转平台，采用蜗轮蜗杆传动系统（减速比1/180）与精密角轴承，实现高分辨率角度定位与高刚性旋转支撑。台面尺寸φ158mm，旋转范围±170°，水平承载能力588N（60kgf），可承载各类真空用大型工件、夹具或光学模块。

在驱动与精度方面，MVRA16A-WH01搭载真空用5相步进电机（额定电流1.4A/相，基本步距角0.72°），分辨率整步0.004°/半步0.002°（微步进1/20分割可达0.0002°），最高速度10°/s。累积≤0.01°/360°，空程≤0.008°，角度再现性≤0.004°，节距≤0.004°/2°，背隙≤0.004°，表面跳动≤20μm/360°，偏心≤10μm/360°，弯矩刚度0.03角秒/N·cm。连接器采用真空兼容D-sub 9针规格（Accu-Glass Products: 9D-HVCP），确保真空环境下的电气连接可靠性。

在真空兼容性方面，该产品采用真空用5相步进电机与真空兼容连接器，主体材质为铝合金，重量5.6kg。产品在空气环境中进行精度检测，不适用于烘烤工艺。如需烘烤兼容规格，可联系光洲精密进行定制对应。

在应用场景方面，MVRA16A-WH01适用于真空腔体内的角度精密定位、半导体制造设备（如溅射、蒸镀、CVD）的基板旋转定位、薄膜沉积系统的样品台角度调节、表面分析仪器（如XPS、AES、SEM）的样品台旋转定位，以及各类需要真空环境与大承载高精度旋转定位的科研与工业应用。

MVRA16A-WH01广泛应用于真空制造设备、半导体工艺、薄膜沉积系统及表面分析仪器等领域。光洲精密表示，MVRA16A-WH01真空兼容旋转平台以蜗轮蜗杆传动与真空兼容设计，为真空环境下的高精度大承载角度定位提供了可靠的解决方案。