池田屋新品VAT 21.4小型角阀/直通阀21414-XE64正式发布

摘要：
近日，池田屋实业有限公司宣布正式推出瑞士VAT公司21.4系列小型角阀/直通阀（型号：21414-XE64）。该产品采用电磁执行器，无需压缩空气即可实现密封或排气操作，压力范围覆盖1×10⁻⁸mbar至10bar（绝对压力），泄漏率低于1×10⁻⁹mbar·L/s，适配DN 5（3/16英寸）口径与ISO-KF法兰，不锈钢材质，电磁执行器设计寿命达200万次循环。该型号专为无法接入压缩空气的密封与排气应用设计，为半导体、分析仪器及研究领域提供高可靠性、免维护的真空控制解决方案。

正文：

在半导体制造、分析仪器、质谱分析及研究实验等真空应用中，部分场景因空间限制或安全要求无法接入压缩空气，需要采用电磁驱动的真空阀门实现密封与排气控制。传统电磁阀在高压差、高真空及长期可靠性方面存在局限，难以满足严苛工艺的要求。针对这一行业需求，池田屋实业有限公司正式引入瑞士VAT公司21.4系列小型角阀/直通阀（型号：21414-XE64）。该产品的推出，为无压缩空气环境下的真空密封与排气控制提供了兼具高可靠性、长寿命与紧凑设计的解决方案。

型号21414-XE64的核心技术优势在于其电磁执行器设计、高耐压能力与长寿命免维护性能的创新结合。该产品采用电磁执行器，无需压缩空气即可可靠工作，特别适用于无法接入压缩空气的密封和排气应用场景。压力范围覆盖1×10⁻⁸mbar至10bar（绝对压力），可满足从高真空到高压的宽范围工况需求。泄漏率低于1×10⁻⁹mbar·L/s，密封性能优异。电磁执行器设计寿命达200万次循环，具有优异的长期可靠性，免维护运行，大幅降低运营成本。阀体材质为AISI 304不锈钢，主体、波纹管与阀板均为不锈钢，具有良好的耐腐蚀性与机械强度。密封材质为FKM，馈通采用O型圈密封轴馈通，安装位置任意。电磁执行器最高耐受温度40℃。

在结构设计与安装灵活性层面，21414-XE64同样表现。该型号为DN 5（3/16英寸）口径，法兰标准为ISO-KF，提供角阀与直通阀两种设计，配备丰富的法兰连接器和适配器等附件，几乎可满足所有应用需求。产品结构紧凑，占地面积小，便于在空间受限的设备中安装。

从典型应用场景来看，型号21414-XE64适用于半导体制造设备中无压缩空气区域的真空密封与排气控制、分析仪器与质谱仪的真空切换、研究实验装置的真空隔离，以及电池生产与晶体生长等真空工艺的密封与排气控制等场景。池田屋技术团队指出，21.4系列在精密测量与自动化控制方面表现稳健，是电磁驱动真空控制应用的理想选择。

池田屋实业有限公司表示，此次将VAT 21.4系列小型角阀/直通阀21414-XE64引入国内市场，旨在为本土半导体、分析仪器与科研领域提供兼具高可靠性、长寿命与紧凑设计的真空控制流体管理解决方案。未来，池田屋将持续围绕精密测量、自动化控制与流体管理三大方向深耕，助力中国真空技术的装备升级与效能提升。