池田屋新品VAT 05.3 HV转换阀05331-LA24正式发布

摘要：
近日，池田屋实业有限公司宣布正式推出瑞士VAT公司05.3系列HV转换阀插件（型号：05331-LA24）。该产品专为腐蚀性工艺的快速、精确真空转换与隔离应用设计，采用铝制阀体与L型运动机构，配备气动双作用执行器与位置指示信号，压力范围覆盖1×10⁻⁹mbar至1.1bar（绝对压力），泄漏率低于1×10⁻⁹mbar·L/s，适配80mm×500mm特殊法兰接口。该型号为更大尺寸基板或样品的腐蚀性工艺真空转换提供高可靠性、耐腐蚀的解决方案。

正文：

在半导体制造、平板显示及等离子体刻蚀等腐蚀性真空工艺中，真空转换阀需要在工艺腔室与传输腔室之间实现快速、精确的隔离与转换。随着基板尺寸的不断增大，转换阀的通过能力与密封可靠性面临更高要求，同时腐蚀性工艺气体对阀门材质的耐腐蚀性提出了严苛挑战。针对这一行业需求，池田屋实业有限公司正式引入瑞士VAT公司05.3系列HV转换阀插件（型号：05331-LA24）。该产品的推出，为大尺寸基板的腐蚀性真空工艺提供了兼具大尺寸通过能力、快速动作、精确控制与耐腐蚀设计的真空转换解决方案。

型号05331-LA24的核心技术优势在于其大尺寸传输通道、L型运动机构与耐腐蚀设计的协同配合。该产品采用L型运动机构，可在紧凑空间内实现可靠的阀板转换与密封，适配80mm×500mm的特殊法兰接口，可满足更大尺寸基板或样品的真空传输需求。压力范围覆盖1×10⁻⁹mbar至1.1bar（绝对压力），泄漏率低于1×10⁻⁹mbar·L/s，密封性能优异。闸板压差1.1bar，开口处压差≤0.03bar，关闭时间≤1.0秒，动作迅速，满足高效率生产节拍要求。阀体材质为铝，重量14kg，执行器为气动双作用，配备位置指示信号，便于系统状态监控。阀体最高耐受温度120℃，执行器最高80℃，位置指示器最高80℃。产品可选配额外金属表面处理，提升耐腐蚀性能，特别适用于腐蚀性工艺环境。

在结构设计与操作灵活性层面，型号05331-LA24同样表现。产品提供多种升级选项，包括额外金属表面处理、双位置指示器（分别指示开/关状态）、替代密封材料、O型圈密封、水平安装方向及不同规格电磁阀等，用户可根据实际应用需求灵活配置，以适应不同工艺条件与安装环境。

从典型应用场景来看，型号05331-LA24适用于半导体等离子体刻蚀设备中大尺寸基板的真空转换与隔离、平板显示制造中的大尺寸玻璃基板真空转换、CVD工艺腔室与传输腔室的真空转换，以及需要大尺寸通过能力与耐腐蚀设计的各类真空工艺等场景。池田屋技术团队指出，05.3系列在精密测量与自动化控制方面表现稳健，是大尺寸腐蚀性真空工艺转换应用的理想选择。

池田屋实业有限公司表示，此次将VAT 05.3系列HV转换阀05331-LA24引入国内市场，旨在为本土半导体与制造企业提供兼具大尺寸通过能力、快速动作与耐腐蚀设计的真空转换流体管理解决方案。未来，池田屋将持续围绕精密测量、自动化控制与流体管理三大方向深耕，助力中国真空技术的装备升级与效能提升。