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池田屋新品VAT 09.2楔形高压闸阀09240-PA06正式发布

更新时间:2026-08-04      浏览次数:23

摘要:
近日,池田屋实业有限公司宣布正式推出瑞士VAT公司09.2系列楔形高压闸阀(型号:09240-PA06)。该产品专为高副产物含量气流的隔离应用设计,采用铝制阀体与手动执行器,压力范围覆盖1×10⁻⁸mbar至1.2bar(绝对压力),泄漏率低于1×10⁻⁹mbar·L/s,法兰标准为ISO-F,适配DN 100(4英寸)口径。该型号凭借楔形自清洁设计,成为高副产物含量气流隔离的标准选择,为半导体子工厂及严苛真空工艺提供高可靠性、长维护周期的真空隔离解决方案。

正文:

在半导体制造的子工厂(Sub-Fab)工艺中,气流中往往含有高浓度的副产物与沉积物,这些物质极易在真空阀门的阀体与阀座内部积聚,导致阀门卡滞、密封失效。传统闸阀在高副产物环境中难以长期稳定运行,维护周期短、运营成本高。针对这一行业痛点,池田屋实业有限公司正式引入瑞士VAT公司09.2系列楔形高压闸阀(型号:09240-PA06)。该产品的推出,为高副产物含量气流的真空隔离提供了兼具楔形自清洁设计与高可靠性的综合解决方案。

型号09240-PA06的核心技术优势在于其楔形自清洁设计。该产品采用特殊的楔形设计,在阀门开启和关闭过程中,闸板的楔形结构能够有效地将沉积物从阀座或闸板密封件上推开,始终确保可靠的密封性能。压力范围覆盖1×10⁻⁸mbar至1.2bar(绝对压力),适配从高真空到低正压的宽范围工况。泄漏率低于1×10⁻⁹mbar·L/s,密封性能可靠。法兰标准为ISO-F,适配DN 100(4英寸)口径,电导达1700L/s,可满足中等流量真空系统的隔离需求。闸板压差≤1.2bar,开启方向压差≤1bar,可在高压差条件下正常工作。阀体材质为铝,重量7.5kg,轻量化设计便于安装与维护。执行器为手动操作,阀体最高耐受温度150℃,执行器最高100℃。

在结构与操作灵活性层面,型号09240-PA06同样表现。产品可根据客户需求定制法兰、附加端口、插入版本、带窗闸板、带孔口固定装置、带箔片固定装置及替代密封材料等,用户可根据实际应用需求灵活配置。

从典型应用场景来看,型号09240-PA06适用于半导体子工厂工艺中高副产物含量的气流隔离、PVD/CVD工艺泵浦管线的真空隔离、工艺废气处理系统的真空控制,以及其他高沉积物环境的真空隔离应用等场景。池田屋技术团队指出,09.2系列在精密测量自动化控制方面表现稳健,是高副产物含量气流隔离应用的理想选择。

池田屋实业有限公司表示,此次将VAT 09.2系列楔形高压闸阀09240-PA06引入国内市场,旨在为本土半导体制造企业提供兼具楔形自清洁设计与高可靠性的真空隔离流体管理解决方案。未来,池田屋将持续围绕精密测量、自动化控制与流体管理三大方向深耕,助力中国半导体子工厂的装备升级与运营效率提升。