池田屋新品VAT 10.8超高真空闸阀10836-CE01正式发布

摘要：
近日，池田屋实业有限公司宣布正式推出瑞士VAT公司10.8系列超高真空闸阀（型号：10836-CE01）。该产品采用全不锈钢结构与手动执行器，压力范围覆盖1×10⁻¹⁰mbar至1.6bar（绝对压力），泄漏率低于5×10⁻¹⁰mbar·L/s（阀体）/1×10⁻⁹mbar·L/s（阀座），阀体最高烘烤温度达250℃，法兰标准为CF-F（公制螺纹），适配DN 63（2½英寸）口径。该型号专为超高真空隔离标准应用设计，为半导体、研究及高能物理等领域提供高可靠性、低颗粒、低释气的超高真空隔离解决方案。

正文：

在半导体制造、表面科学、高能物理及同步辐射等超高真空应用领域，真空闸阀需要在极低压力下实现可靠隔离，同时满足低颗粒产生、低气体释放及高温烘烤的严苛要求。CF法兰（ConFlat法兰）作为超高真空系统的标准接口，以其优异的金属密封性能被广泛应用于各类超高真空设备中。传统闸阀在超高真空密封、颗粒控制及烘烤温度方面存在局限，难以满足超高真空系统的严格要求。针对这一行业需求，池田屋实业有限公司正式引入瑞士VAT公司10.8系列超高真空闸阀（型号：10836-CE01）。该产品的推出，为超高真空系统提供了兼具CF法兰标准接口、无摩擦密封与高温烘烤能力的可靠隔离解决方案。

型号10836-CE01的核心技术优势在于其超高真空设计与CF法兰接口的精密配合。该产品压力范围覆盖1×10⁻¹⁰mbar至1.6bar（绝对压力），适配从超高真空到正压的宽范围工况。泄漏率低于5×10⁻¹⁰mbar·L/s（阀体）/1×10⁻⁹mbar·L/s（阀座），密封性能优异。阀体采用不锈钢材质，具有优异的耐腐蚀性与机械强度。法兰标准为CF-F（公制螺纹），适配DN 63（2½英寸）口径，是超高真空系统的标准接口。电导600L/s，闸板压差≤1.6bar，开口处压差≤0.03bar。执行器为手动操作，操作简便可靠。阀门最高烘烤温度达250℃，满足超高真空系统的高温烘烤要求。重量9kg，结构坚固。

在结构与操作灵活性层面，型号10836-CE01同样表现。产品提供多种升级选项，包括客户特定法兰、附加端口、紧凑型设计、带窗闸板、带孔口固定装置、带箔片固定装置、O型圈密封、替代密封材料、手动执行器烘烤温度提高至250℃、气动执行器烘烤温度提高至200℃、双位置指示器及不同规格电磁阀等，用户可根据实际应用需求灵活配置。

从典型应用场景来看，型号10836-CE01适用于半导体制造中的超高真空传输与隔离、表面科学分析系统的真空隔离、高能物理实验装置的真空控制，以及同步辐射与自由电子激光装置的真空隔离等场景。池田屋技术团队指出，10.8系列在精密测量与自动化控制方面表现稳健，是超高真空系统隔离应用的理想选择。

池田屋实业有限公司表示，此次将VAT 10.8系列超高真空闸阀10836-CE01引入国内市场，旨在为本土半导体、研究及制造企业提供兼具CF法兰接口与高温烘烤能力的真空隔离流体管理解决方案。未来，池田屋将持续围绕精密测量、自动化控制与流体管理三大方向深耕，助力中国超高真空技术的装备升级与效能提升。