池田屋新品VAT 24.2密封保护角阀正式发布

摘要：
近日，池田屋实业有限公司宣布正式推出瑞士VAT公司24.2系列带密封保护角阀。该产品专为远程等离子清洗应用中腐蚀性气体环境设计，采用独特的关闭钟罩结构与密封保护设计，将密封件置于等离子体流外部，有效防止过早磨损。压力范围覆盖1×10⁻⁷mbar至1.2bar（绝对压力），阀座泄漏率低于1×10⁻⁷mbar·L/s，电导5L/s，适配DN 16（5/8英寸）口径与ISO-KF法兰，铝制阀体，配备气动双作用执行器。该型号为等离子清洗工艺提供的耐久性与长维护周期解决方案。

正文：

在半导体制造、CVD及等离子体刻蚀等真空工艺中，远程等离子体源用于腔室清洗（等离子清洗）是常见的维护操作。然而，活性腐蚀性工艺气体（如氟自由基等）对真空阀门的密封件造成严重磨损，导致阀门密封失效、频繁维护与生产中断。传统角阀在等离子清洗应用中密封件直接暴露于腐蚀性气体，使用寿命有限，运营成本高。针对这一行业痛点，池田屋实业有限公司正式引入瑞士VAT公司24.2系列带密封保护角阀。该产品的推出，为远程等离子清洗应用提供了兼具超高耐久性、密封保护与优化流道设计的真空隔离解决方案。

型号24.2的核心技术优势在于其密封保护设计与等离子体优化流道的创新结合。该产品采用独特的关闭钟罩结构替代传统关闭阀盖，将密封件放置在等离子体流外部的深密封槽内，有效防止腐蚀性气体与氟自由基对密封件的直接侵蚀，显著延长密封件寿命。新开发的轴馈通设计可保护馈通密封件免受过大热应力影响，专用轴馈通盒将闭合钟罩与馈通件进行热隔离，防止热直接传导。优化后的等离子体流设计使导流能力比传统角阀提高了40%，减少了因瓶颈或湍流造成的能量损失，提高了等离子体流的功率输出。产品采用被动式空气冷却，可选配主动式空气冷却，直接、均匀、有效地保护对温度敏感的密封表面。压力范围覆盖1×10⁻⁷mbar至1.2bar（绝对压力），阀座泄漏率低于1×10⁻⁷mbar·L/s。适配DN 16（5/8英寸）口径与ISO-KF法兰，电导5L/s，关闭时间≤1秒。阀体材质为铝，执行器最高耐受温度150℃，阀体最高150℃，位置指示器最高120℃保养前周期在120℃洁净条件下达20,000次。

在结构设计与维护便捷性层面，24.2系列同样表现。只需松开四个螺丝即可快速更换所有相关部件（静密封件、动密封件或阀体），配备维护套件方便快速可靠的维护操作。产品提供多种密封材料选项（FKM标准/FFKM可选），可根据客户要求定制法兰。

从典型应用场景来看，24.2系列适用于半导体CVD腔室的远程等离子清洗隔离、等离子体刻蚀设备的腐蚀性气体隔离、薄膜封装（TFE）工艺的等离子清洗，以及各类远程等离子清洗应用的真空隔离等场景。池田屋技术团队指出，24.2系列在精密测量与自动化控制方面表现稳健，是等离子清洗真空隔离应用的理想选择。

池田屋实业有限公司表示，此次将VAT 24.2系列密封保护角阀引入国内市场，旨在为本土半导体与制造企业提供兼具超高耐久性与密封保护的真空隔离流体管理解决方案。未来，池田屋将持续围绕精密测量、自动化控制与流体管理三大方向深耕，助力中国真空技术的装备升级与效能提升。