池田屋精品！ULVAC CRYO-U8HSP低温泵

池田屋精品！ULVAC CRYO-U8HSP低温泵

一、产品概述

ULVAC爱发科推出的 CRYO-U8HSP 低温泵，是一款专为溅射镀膜工艺优化的高真空泵，采用两级 GM 制冷机。型号 CRYO-U8HSP 与 CTI 低温泵 CT-8 兼容，对氩气的排气容量约为标准机型（U8H）的 2.5 倍，氢气排气速度提升约 1.2 倍。该产品广泛应用于半导体制造、FPD、光学镀膜及溅射工艺等领域，单台压缩机最多可驱动 3 台泵同时运行。

二、产品规格

排气速度（20℃）

最大流量与排气容量

三、核心设计特征

1. 溅射工艺优化，氩气排气容量大幅提升
CRYO-U8HSP 针对溅射工艺进行特别优化，对氩气的排气容量约为标准机型（U8H）的 2.5 倍，氢气排气速度约提升 1.2 倍。这使得设备在溅射工艺中的再生间隔延长，有助于提高设备可用率。

2. 高真空性能
极限压力达 10⁻⁷ Pa，可满足从高真空到超高真空的工艺需求。

3. 与 CTI CT-8 兼容
与 CTI 低温泵 CT-8 兼容，便于在现有系统中进行替换升级。

4. 一机多泵运行
单台压缩机最多可驱动 3 台 CRYO-U8HSP 低温泵同时运行，降低设备成本。

5. 长维护周期
维护间隔为 16,000 小时，降低长期运行维护成本。

四、压缩机选型参考

五、典型应用场景

六、选型要点

• 真空度需求：确认工艺所需极限压力是否在 10⁻⁷ Pa 级别

• 气体种类：如工艺中大量使用氩气（溅射），此型号氩气排气容量为 2.5×10⁸ Pa·L，适合长周期运行

• 压缩机匹配：推荐使用 C10、C10AT 或 C10ES 压缩机

• 法兰规格：确认吸气口法兰规格（UVG-200、6B ANSI、ICF-253）是否匹配

七、注意事项

• 低温泵需要定期进行再生（Regeneration）操作，以排出冷凝和吸附的气体

• 氢气（H₂）在 8K 温度下不会冷凝，而是通过吸附方式捕获，排气容量为 1.0×10⁶ Pa·L

• 建议配套使用 ULVAC 推荐的压缩机和控制单元，以确保最佳性能

八、总结

ULVAC CRYO-U8HSP 低温泵通过针对溅射工艺的优化设计，实现了氩气排气容量约 2.5 倍的提升，配合 10⁻⁷ Pa 的极限压力和 16,000 小时的维护周期，为半导体溅射、FPD 及光学镀膜等行业提供了一套清洁、高效的高真空解决方案。