池田屋精品！ULVAC CRYO-U22WB低温泵

一、产品概述

ULVAC爱发科推出的 CRYO-U22WB 低温泵，是一款采用两级 GM 制冷机的高真空泵，能够实现 10⁻⁷ Pa 的极限压力。型号 CRYO-U22WB 为 22 型规格，对氮气的排气速度高达 13,000 L/s，对水蒸气的排气速度达 39,000 L/s。该产品广泛应用于 FPD、半导体制造、电子器件、光学镀膜及研究开发等领域，特别适合需要大抽速和高真空环境的大型真空工艺腔室。

二、产品规格

排气速度（20℃）

最大流量与排气容量

三、核心设计特征

1. 高真空性能
极限压力达 10⁻⁷ Pa，可满足从高真空到超高真空的工艺需求。对水蒸气的排气速度高达 39,000 L/s，有效缩短抽真空时间。

2. 清洁无油真空
低温泵通过低温表面凝结和吸附气体分子实现真空，不产生油蒸气污染，可提供清洁的真空环境。

3. 大抽速设计
22 型大抽速规格，对氮气排气速度达 13,000 L/s，适用于大型真空工艺腔室和批量生产设备。

4. 长维护周期
保养周期为 16,000 小时，降低长期运行维护成本。

5. 专用压缩机匹配
需配套 C30PMVRT 压缩机单元使用，确保制冷机稳定运行。

四、压缩机选型参考

五、典型应用场景

六、选型要点

• 真空度需求：确认工艺所需极限压力是否在 10⁻⁷ Pa 级别

• 抽速需求：13,000 L/s 的大抽速适合大型腔体或批量生产场景

• 压缩机匹配：必须配套 C30PMVRT 压缩机使用

• 法兰规格：确认吸气口法兰 UVG-550 是否匹配现有系统

• 安装空间：确认 125kg 的重量和外形尺寸是否适配设备

七、注意事项

• 低温泵需要定期进行再生（Regeneration）操作，以排出冷凝和吸附的气体

• 氢气（H₂）在 8K 温度下不会冷凝，而是通过吸附方式捕获

• 降温时间约 150-165 分钟，开机前需预留足够的降温时间

• 建议配套使用 ULVAC 推荐的压缩机和控制器，以确保最佳性能

八、总结

ULVAC CRYO-U22WB 低温泵通过两级 GM 制冷机和高真空设计，为半导体制造、FPD、光学镀膜等行业提供了一套清洁、高效的高真空解决方案。其对氮气 13,000 L/s、水蒸气 39,000 L/s 的排气速度，配合 10⁻⁷ Pa 的极限压力和 16,000 小时的维护周期，特别适用于需要大抽速和超高真空环境的大型工艺设备。