池田屋精品！ULVAC VLP-SA020JH真空角阀

一、产品概述

ULVAC爱发科推出的 VLP-SA020JH 真空角阀，是一款采用双作用气缸驱动的真空角阀。型号 VLP-SA020JH 为角阀（L型阀）的代表规格，采用 SUS304 不锈钢材质，阀板与阀杆均采用 O 型圈密封。该产品外部泄漏率和内部泄漏率均 ≤1.0×10⁻¹⁰ Pa·m³/s，本体可烘烤至 150℃，适用于从大气压到 1.0×10⁻⁵ Pa 的宽压力范围。

二、产品规格

三、核心设计特征

1. 不锈钢材质，可烘烤至 150℃
阀体采用 SUS304 不锈钢，可整体烘烤至 150℃，满足高真空系统的清洁度要求。

2. 双作用气缸驱动
采用双作用气缸，通过压缩空气控制阀门的开启和关闭，动作可靠稳定。

3. 低泄漏率设计
外部泄漏率和内部泄漏率均 ≤1.0×10⁻¹⁰ Pa·m³/s，适用于对泄漏要求严格的高真空和超高真空系统。

4. 宽工作压力范围
可在大气压至 1.0×10⁻⁵ Pa 的压力范围内工作，适用性广泛。

5. 多种法兰规格可选
提供 JIS-VF、ISO-KF、ISO-K 和 ISO-CF 四种法兰规格选择。

6. 100,000 次保证动作周期
保证动作次数达 100,000 次，适用于需要频繁开关的自动化真空系统。

四、典型应用场景

五、选型要点

• 法兰规格：确认系统法兰标准（JIS-VF、ISO-KF、ISO-K、ISO-CF）

• 驱动方式：本型号为双作用气缸，需确认现场有压缩空气气源（0.40～0.60 MPaG）

• 烘烤需求：如需烘烤，确认烘烤温度是否 ≤150℃

• 泄漏率要求：确认系统允许泄漏率是否 ≥1.0×10⁻¹⁰ Pa·m³/s

• 位置指示：如需开/关位置检测，需选配位置指示器（另售）

六、注意事项

• 烘烤期间请勿进行开闭操作

• 阀板最大允许差压为 0.10 MPa，使用时需确保压差在允许范围内

• 工作环境及流体应为非腐蚀性介质

• 加热/冷却速度应 ≤30℃/h，避免热冲击损坏

• 泄漏率指标不包括 O 型圈渗透

七、总结

ULVAC VLP-SA020JH 真空角阀通过 SUS304 不锈钢材质、双作用气缸驱动及 ≤1.0×10⁻¹⁰ Pa·m³/s 的低泄漏率设计，为半导体制造、FPD 设备、真空镀膜等应用提供了一套高可靠性、长寿命的真空管路控制解决方案。其 150℃ 烘烤性能及多种法兰规格选择，适用于从大气压到高真空的各类真空系统。