池田屋精品！ULVAC CRYO-U4H低温泵

一、产品概述

ULVAC爱发科推出的 CRYO-U4H 低温泵，是一款采用两级 GM 制冷机的高真空泵，能够实现 10⁻⁷ Pa 的极限压力 。型号 CRYO-U4H 为 4 英寸规格，对氮气的排气速度达 450 L/s，对水蒸气的排气速度高达 1,100 L/s。该产品广泛应用于半导体制造设备的溅射工艺、FPD、电子器件、光学及研发等领域，特别适合小型设备的高真空需求 。

二、产品规格

排气速度（20℃）

最大流量与排气容量

三、核心设计特征

1. 高真空性能
极限压力达 10⁻⁷ Pa，可满足从高真空到超高真空的工艺需求 。对水蒸气的排气速度高达 1,100 L/s，有效缩短抽真空时间。

2. 清洁无油真空
低温泵通过低温表面凝结和吸附气体分子实现真空，不产生油蒸气污染，可提供清洁的真空环境 。

3. 一机多泵运行
单台压缩机最多可驱动 4 台 CRYO-U4H 低温泵同时运行 ，大幅降低设备成本。使用 C10/C10AT 压缩机可驱动 1 台，C30VR 压缩机可驱动 4 台 。

4. 紧凑轻量设计
重量仅 14.5 kg ，结构紧凑，适用于空间有限的半导体制造设备和小型溅射设备。

5. 高可靠性
维护间隔为 16,000 小时 ，降低长期运行维护成本。

四、压缩机选型参考

五、典型应用场景

六、选型要点

• 真空度需求：确认工艺所需极限压力是否在 10⁻⁷ Pa 级别

• 气体种类：根据工艺中主要气体种类确认排气速度是否满足要求

• 压缩机匹配：确认选用的压缩机型号可驱动的泵台数

• 安装空间：确认 14.5kg 的重量和尺寸是否适配设备 

• 维护周期：16,000 小时维护间隔，可纳入设备维护计划 

七、注意事项

• 低温泵需要定期进行再生（Regeneration）操作，以排出冷凝和吸附的气体 

• 再生过程中大量气体释放，低温泵均配有安全泄压阀，防止爆炸风险 

• 氢气（H₂）在 8K 温度下不会冷凝，而是通过吸附方式捕获 

• 建议配套使用 ULVAC 推荐的压缩机和控制单元，以确保最佳性能

八、总结

ULVAC CRYO-U4H 低温泵通过两级 GM 制冷机和高真空设计，为半导体制造、FPD、光学镀膜等行业提供了一套清洁、高效的高真空解决方案。其 4 英寸规格下对氮气 450 L/s、水蒸气 1,100 L/s 的排气速度，配合 10⁻⁷ Pa 的极限压力，特别适用于需要快速抽真空和小型化布局的溅射工艺及研发设备。