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更新时间:2026-06-30
浏览次数:15池田屋推出光津精机(Kohzu Precision)品牌MVXA16A-R101真空兼容X轴平台。该产品为采用精密十字滚轮导轨的真空兼容型自动X轴平台,台面尺寸160×124mm,行程±30mm,重复定位精度≤±0.5μm,水平承载能力294N(30kgf),适用于真空环境下的重载精密定位应用。
一、产品概述
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 产品名称 | 真空兼容X轴平台 |
| 型号 | MVXA16A-R101 |
| 品牌 | 光津精机(Kohzu Precision) |
| 台面尺寸 | 160mm × 124mm |
| 导向方式 | 精密十字滚轮导轨 |
| 活动范围 | ±30mm |
| 进给方式 | 研磨丝杠,导程1.0mm |
| 材质 | 铝合金 |
| 本体重量 | 约3.6kg |
二、运动与分辨率
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 分辨率(全步/半步) | 2μm / 1μm |
| 分辨率(微步进1/20格) | 0.1μm |
| 最高速度 | 5mm/s(5kHz半步) |
| 累计读取误差 | ≤10μm/60mm |
| 重复定位精度 | ≤±0.5μm |
| 失动量 | ≤2μm |
| 背隙 | ≤1μm |
三、直线度与刚性
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 水平直线度 | ≤2μm/60mm |
| 垂直直线度 | ≤2μm/60mm |
| 弯矩刚度 | 0.03角秒/N·cm |
| 水平承载能力 | 294N(30kgf) |
四、电气规格
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 电机 | 真空兼容5相步进电机 |
| 额定电流 | 1.4A/相 |
| 基本步进角 | 0.72° |
| 连接器类型 | 真空兼容D-sub 9针连接器(Accu-Glass Products 9D-HVCP) |
五、核心特点
大行程真空定位:行程±30mm,适用于需要较大移动范围的真空环境精密定位。
高精度定位:重复定位精度≤±0.5μm,微步进分辨率0.1μm,满足高精度定位需求。
高承载能力:水平承载能力294N(30kgf),可承载较重工件或设备。
精密十字滚轮导轨:采用精密十字滚轮导轨,确保高刚性、低摩擦的直线运动。
研磨丝杠进给:采用高分辨率研磨丝杠(导程1.0mm),实现平滑、精确的直线运动。
高直线度:水平/垂直直线度≤2μm/60mm,确保运动路径的直线性。
真空兼容设计:采用真空兼容型5相步进电机和真空兼容连接器,适用于真空环境。
六、典型应用场景
| 应用领域 | 具体用途 |
|---|---|
| 真空环境 | 真空腔体内的重载精密定位 |
| 半导体制造 | 真空工艺中的晶圆/掩模版定位 |
| 表面分析 | XPS、AES等真空分析设备的样品定位 |
| 薄膜沉积 | 溅射、蒸镀等真空工艺中的基板定位 |
| 同步辐射 | 真空光束线中的光学元件定位 |
| 科研实验 | 真空环境下的精密测量与定位 |
七、使用注意事项
本产品为真空兼容型,但真空度等级需根据具体配置确认
使用前需确认真空兼容电机的规格和连接器类型
安装时需注意真空环境下的散热和材料放气特性
水平承载能力294N(30kgf),请勿超载使用
建议在清洁环境中安装,避免颗粒污染
池田屋表示,光津精机MVXA16A-R101真空兼容X轴平台凭借±30mm大行程、≤±0.5μm重复定位精度及294N高承载能力,可满足真空环境下的重载高精度定位需求。