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池田屋精品!光津精机真空兼容X轴平台 MVXA16A-R101 参数介绍

更新时间:2026-06-30      浏览次数:15

池田屋精品!光津精机真空兼容X轴平台 MVXA16A-R101 参数介绍

池田屋精品!光津精机真空兼容X轴平台 MVXA16A-R101 参数介绍

池田屋推出光津精机(Kohzu Precision)品牌MVXA16A-R101真空兼容X轴平台。该产品为采用精密十字滚轮导轨的真空兼容型自动X轴平台,台面尺寸160×124mm,行程±30mm,重复定位精度≤±0.5μm,水平承载能力294N(30kgf),适用于真空环境下的重载精密定位应用。

一、产品概述

项目规格
产品名称真空兼容X轴平台
型号MVXA16A-R101
品牌光津精机(Kohzu Precision)
台面尺寸160mm × 124mm
导向方式精密十字滚轮导轨
活动范围±30mm
进给方式研磨丝杠,导程1.0mm
材质铝合金
本体重量约3.6kg

二、运动与分辨率

项目规格
分辨率(全步/半步)2μm / 1μm
分辨率(微步进1/20格)0.1μm
最高速度5mm/s(5kHz半步)
累计读取误差≤10μm/60mm
重复定位精度≤±0.5μm
失动量≤2μm
背隙≤1μm

三、直线度与刚性

项目规格
水平直线度≤2μm/60mm
垂直直线度≤2μm/60mm
弯矩刚度0.03角秒/N·cm
水平承载能力294N(30kgf)

四、电气规格

项目规格
电机真空兼容5相步进电机
额定电流1.4A/相
基本步进角0.72°
连接器类型真空兼容D-sub 9针连接器(Accu-Glass Products 9D-HVCP)

五、核心特点

大行程真空定位:行程±30mm,适用于需要较大移动范围的真空环境精密定位。

高精度定位:重复定位精度≤±0.5μm,微步进分辨率0.1μm,满足高精度定位需求。

高承载能力:水平承载能力294N(30kgf),可承载较重工件或设备。

精密十字滚轮导轨:采用精密十字滚轮导轨,确保高刚性、低摩擦的直线运动。

研磨丝杠进给:采用高分辨率研磨丝杠(导程1.0mm),实现平滑、精确的直线运动。

高直线度:水平/垂直直线度≤2μm/60mm,确保运动路径的直线性。

真空兼容设计:采用真空兼容型5相步进电机和真空兼容连接器,适用于真空环境。

六、典型应用场景

应用领域具体用途
真空环境真空腔体内的重载精密定位
半导体制造真空工艺中的晶圆/掩模版定位
表面分析XPS、AES等真空分析设备的样品定位
薄膜沉积溅射、蒸镀等真空工艺中的基板定位
同步辐射真空光束线中的光学元件定位
科研实验真空环境下的精密测量与定位

七、使用注意事项

  • 本产品为真空兼容型,但真空度等级需根据具体配置确认

  • 使用前需确认真空兼容电机的规格和连接器类型

  • 安装时需注意真空环境下的散热和材料放气特性

  • 水平承载能力294N(30kgf),请勿超载使用

  • 建议在清洁环境中安装,避免颗粒污染

池田屋表示,光津精机MVXA16A-R101真空兼容X轴平台凭借±30mm大行程、≤±0.5μm重复定位精度及294N高承载能力,可满足真空环境下的重载高精度定位需求。