池田屋精品！光津精机真空兼容X轴平台 MVXA05A-R102 参数介绍

池田屋精品！光津精机真空兼容X轴平台 MVXA05A-R102 参数介绍

池田屋精品！光津精机真空兼容X轴平台 MVXA05A-R102 参数介绍

池田屋推出光津精机（Kohzu Precision）品牌MVXA05A-R102真空兼容X轴平台。该产品为采用精密十字滚轮导轨的真空兼容型自动X轴平台，台面尺寸50×50mm，行程±7.5mm，重复定位精度≤±0.5μm，适用于真空环境下的精密定位与测量应用。

一、产品概述

二、运动与分辨率

三、直线度与刚性

四、电气规格

五、核心特点

真空兼容设计：专为真空环境应用设计，采用真空兼容型5相步进电机和真空兼容连接器，适用于真空腔体内的精密定位。

高精度定位：重复定位精度≤±0.5μm，微步进分辨率0.05μm，满足高精度定位需求。

精密十字滚轮导轨：采用精密十字滚轮导轨，确保高刚性、低摩擦的直线运动。

研磨丝杠进给：采用高分辨率研磨丝杠（导程0.5mm），实现平滑、精确的直线运动。

高直线度：水平/垂直直线度≤1μm/15mm，确保运动路径的直线性。

高刚性结构：弯矩刚度0.31角秒/N·cm，水平承载能力49N（5kgf）。

六、典型应用场景

七、使用注意事项

• 本产品为真空兼容型，但真空度等级需根据具体配置确认

• 使用前需确认真空兼容电机的规格和连接器类型

• 安装时需注意真空环境下的散热和材料放气特性

• 水平承载能力49N（5kgf），请勿超载使用

• 建议在清洁环境中安装，避免颗粒污染

池田屋表示，光津精机MVXA05A-R102真空兼容X轴平台凭借精密十字滚轮导轨、≤±0.5μm重复定位精度及真空兼容设计，可满足真空环境下的高精度定位需求。