池田屋！MIYUKI 压力控制阀 BAR-N63
BAR-N63 是日本 MIYUKI（美幸辉）株式会社 BAR 系列中的一款自动压力控制蝶阀

池田屋！MIYUKI 压力控制阀 BAR-N63 

池田屋！MIYUKI 压力控制阀 BAR-N63 

BAR-N63 是日本 MIYUKI（美幸辉）株式会社 BAR 系列中的一款自动压力控制蝶阀。该系列控制阀采用简单的蝶阀结构，无金属滑动部件，可实现低颗粒物产生和极低噪音的开关及控制动作，适用于半导体制造设备、真空镀膜装置及各类真空工艺中的压力控制场景。

结构与特点

BAR-N63 采用 蝶阀结构，通过旋转阀板控制流导，实现对真空腔体压力的精确调节。其无金属滑动部件的设计可有效降低颗粒物产生，适用于对洁净度要求较高的真空工艺。阀门的开闭及控制动作噪音较低，且由于电机与阀体直连驱动，可消除背隙，提高控制精度。该型号标配 无制动电机，在停电时阀门停止（无保持力）。

口径与法兰规格

该型号的公称口径为 63A（63mm），法兰规格为 ISO 2861（JIS B 8365）NW/KF 法兰。法兰外径为 φ87 mm，采用 NW/KF 快速法兰连接方式，适用于真空管路的快速安装与拆卸。需注意，NW/KF 法兰规格最大适用于 40A（即 NW40），此处的 63A 对应 NW50 规格。

尺寸与质量

BAR-N63 的本体尺寸为：总长度（L）约 313 mm，法兰间距（M）约 293.5 mm，本体高度（B）为 65 mm，法兰厚度（G）为 56 mm。阀体宽度（S）为 120 mm，安装孔距（T）为 90 mm，U 型安装槽（U）为 60 mm。整机质量约 5.5 kg。

使用压力与泄漏量

该阀门的适用压力范围为 10⁵ Pa 至 10⁻⁵ Pa，可覆盖从大气压到高真空的较宽压力范围。内部密封（阀板）泄漏量为 1×10⁻⁹ Pa·m³/s 以下，外部密封（轴封）泄漏量为 1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s 以下，可满足真空系统对泄漏量的严格要求。

材质与密封

与气体接触部分的材质为 SUS304 不锈钢，具有良好的耐腐蚀性和较低的放气率。阀板密封件和轴密封件均采用 氟橡胶 O 型圈，具有良好的真空密封性能和耐热性。本体耐热温度为 150°C，电机耐热温度为 40°C。

应用场景

BAR-N63 适用于半导体制造设备（如蚀刻、CVD、溅射等工艺）、真空镀膜装置、真空炉及各类需要精确控制真空压力的科研与工业设备。其 NW/KF 法兰连接方式便于快速安装和拆卸，适合需要频繁维护的真空系统。

同系列选型参考

BAR 系列提供 25A 至 250A 的多种口径选择，法兰规格包括 JIS B 2290 保守法兰（J）、ISO 1609 螺栓紧固法兰（I）、ISO 2861 NW/KF 法兰（N）及 ISO 3669 CF 法兰（C）。型号后缀中的“B"代表带制动电机，无制动电机为标准配置（无后缀）。用户可根据真空系统的法兰标准和管道口径选择合适的型号。如需停电保持功能，请选择带“B"后缀的型号（如 BAR-N63B）。选购时需确认法兰规格和安装空间是否匹配。该型号为标准无制动电机规格，适合对停电保持无要求的常规应用场景。NW/KF 法兰连接方式便于快速拆装，适用于需要频繁维护的真空系统。