池田屋！MIYUKI 压力控制阀 BAR-I80
BAR-I80 是日本 MIYUKI（美幸辉）株式会社 BAR 系列中的一款自动压力控制蝶阀

池田屋！MIYUKI 压力控制阀 BAR-I80

池田屋！MIYUKI 压力控制阀 BAR-I80

BAR-I80 是日本 MIYUKI（美幸辉）株式会社 BAR 系列中的一款自动压力控制蝶阀。该系列控制阀采用简单的蝶阀结构，无金属滑动部件，可实现低颗粒物产生和极低噪音的开关及控制动作，适用于半导体制造设备、真空镀膜装置及各类真空工艺中的压力控制场景。

结构与特点

BAR-I80 采用 蝶阀结构，通过旋转阀板控制流导，实现对真空腔体压力的精确调节。其无金属滑动部件的设计可有效降低颗粒物产生，适用于对洁净度要求较高的真空工艺。阀门的开闭及控制动作噪音较低，且由于电机与阀体直连驱动，可消除背隙，提高控制精度。该型号标配 无制动电机，在停电时阀门停止（无保持力）。

口径与法兰规格

该型号的公称口径为 80A（80mm），法兰规格为 ISO 1609（JIS B 2290 螺栓紧固法兰）。法兰外径为 φ160 mm，螺栓孔节圆直径（PCD）为 φ125 mm，采用 8-φ9 螺栓孔 配置。法兰符合 ISO 1609 标准，适用于真空设备的螺栓紧固法兰连接。

尺寸与质量

BAR-I80 的本体尺寸为：总长度（L）约 401 mm，法兰间距（M）约 321 mm，本体高度（B）为 80 mm，法兰厚度（G）为 74 mm。阀体宽度（S）为 150 mm，安装孔距（T）为 90 mm，U 型安装槽（U）为 60 mm。整机质量约 8 kg。

使用压力与泄漏量

该阀门的适用压力范围为 10⁵ Pa 至 10⁻⁵ Pa，可覆盖从大气压到高真空的较宽压力范围。内部密封（阀板）泄漏量为 1×10⁻⁹ Pa·m³/s 以下，外部密封（轴封）泄漏量为 1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s 以下，可满足真空系统对泄漏量的严格要求。

材质与密封

与气体接触部分的材质为 SUS304 不锈钢，具有良好的耐腐蚀性和较低的放气率。阀板密封件和轴密封件均采用 氟橡胶 O 型圈，具有良好的真空密封性能和耐热性。本体耐热温度为 150°C，电机耐热温度为 40°C。

应用场景

BAR-I80 适用于半导体制造设备（如蚀刻、CVD、溅射等工艺）、真空镀膜装置、真空炉及各类需要精确控制真空压力的科研与工业设备。其简单的结构和低颗粒物特性使其特别适合对洁净度有要求的真空工艺环境。

同系列选型参考

BAR 系列提供 25A 至 250A 的多种口径选择，法兰规格包括 JIS B 2290 保守法兰（J）、ISO 1609 螺栓紧固法兰（I）、ISO 2861 NW/KF 法兰（N）及 ISO 3669 CF 法兰（C）。型号后缀中的“B"代表带制动电机，无制动电机为标准配置（无后缀）。用户可根据真空系统的法兰标准和管道口径选择合适的型号。如需停电保持功能，请选择带“B"后缀的型号（如 BAR-I80B）。选购时需确认法兰规格和安装空间是否匹配。该型号为标准无制动电机规格，适合对停电保持无要求的常规应用场景。