池田屋！MIYUKI 自动压力控制阀 GAR-J100B
GAR-J100B 是日本 MIYUKI（美幸辉）株式会社 GAR 系列中的一款自动压力控制闸阀。

池田屋！MIYUKI 自动压力控制阀 GAR-J100B

池田屋！MIYUKI 自动压力控制阀 GAR-J100B

GAR-J100B 是日本 MIYUKI（美幸辉）株式会社 GAR 系列中的一款自动压力控制闸阀。该系列控制阀采用闸阀结构，具有优良的排气特性，可在全闭状态下实现流量控制，适用于半导体制造设备、真空镀膜装置及各类真空工艺中的压力控制场景。

结构与特点

GAR-J100B 采用 闸阀结构，通过阀板的升降控制流导，实现对真空腔体压力的精确调节。其排気特性优良，且可实现从微小开度到全闭的流量控制。阀门的开闭及控制动作噪音较低。该型号标配 带制动电机，在停电时阀门保持全闭位置（制动锁定），防止因断电导致的工艺异常。阀体采用不锈钢研磨材质，具有较低的放气特性。

口径与法兰规格

该型号的公称口径为 100A（100mm），法兰规格为 JIS B 2290 保守用法兰。法兰外径为 φ185 mm，螺栓孔节圆直径（PCD）为 φ160 mm，采用 8-M10 螺栓孔（深度 14mm）配置。法兰符合 JIS B 2290 标准，适用于真空设备的常规法兰连接。

尺寸与质量

GAR-J100B 的本体尺寸为：总高度（H）约 311.5 mm，阀体长度（L）为 160 mm，阀体宽度（T）为 180 mm，安装孔距（U）为 158 mm。法兰间距（J）为 150 mm，K 尺寸为 85 mm，M 尺寸为 60 mm。整机质量约 15 kg。

使用压力与泄漏量

该阀门的适用压力范围为 10⁵ Pa 至 10⁻⁶ Pa，可覆盖从大气压到超高真空的较宽压力范围。内部密封（阀板）泄漏量为 1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s 以下，外部密封（轴封）泄漏量为 1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s 以下，可满足真空系统对泄漏量的严格要求。

材质与密封

与气体接触部分的材质为 SUS304 不锈钢，具有良好的耐腐蚀性和较低的放气率。阀板密封件和轴密封件均采用 氟橡胶 O 型圈，具有良好的真空密封性能和耐热性。本体耐热温度为 150°C，电机耐热温度为 40°C。

安装注意事项

GAR 系列对安装姿势有一定限制，建议在安装前与厂家确认具体安装要求，以确保阀门的正常工作和密封性能。

应用场景

GAR-J100B 适用于半导体制造设备（如蚀刻、CVD、溅射等工艺）、真空镀膜装置、真空炉及各类需要精确控制真空压力的科研与工业设备。其优良的排气特性和低放气性能使其特别适合对真空环境要求较高的工艺场景。停电时阀门的制动锁定功能可有效防止因断电导致的工艺异常和设备损坏。

同系列选型参考

GAR 系列提供 80A 至 400A 的多种口径选择，法兰规格包括 JIS B 2290 保守法兰（J）、ISO 1609 螺栓紧固法兰（I）及 ISO 3669 CF 法兰（C）。所有 GAR 系列型号均标配带制动电机（后缀“B"）。BAR 系列为蝶阀结构，适用于 25A 至 250A 口径；GAR 系列为闸阀结构，适用于 80A 至 400A 口径，两者形成互补。用户可根据所需的排气特性、口径和法兰标准选择合适的型号。选购时需确认法兰规格和安装空间是否匹配。对于对真空度要求更高的应用（10⁻⁶ Pa 级），GAR 系列是更合适的选择。