池田屋新品VAT 95.3 HV控制和隔离阀组合单元正式发布

摘要：
近日，池田屋实业有限公司宣布正式推出瑞士VAT公司95.3 HV系列控制和隔离阀组合单元。该产品将蝶阀（节流控制）与角阀或闸阀（严密隔离）集成于单一紧凑单元，由同一控制器驱动，压力控制范围覆盖1×10⁻⁸mbar至1.2bar（绝对压力），泄漏率低于1×10⁻⁹mbar·L/s，阀体材质可选铝或不锈钢，法兰标准为ISO-KF和ISO-F。该型号专为半导体CVD、薄膜封装等对安装空间与性能均有严苛要求的真空工艺设计，为制造领域提供紧凑、高性能的真空控制与隔离一体化解决方案。

正文：

在半导体制造、平板显示及薄膜封装等真空工艺中，下游压力控制与腔室气体隔离通常是两个独立的功能，需要分别安装控制阀与隔离阀。然而，在设备空间日益紧张的背景下，传统分体式方案不仅占用宝贵空间，还增加了法兰连接与泄漏风险。此外，两个独立阀门的协同控制也增加了系统复杂度。针对这一行业需求，池田屋实业有限公司正式引入瑞士VAT公司95.3 HV系列控制和隔离阀组合单元。该产品的推出，为空间受限的精密真空工艺提供了兼具紧凑集成与高性能控制的一体化解决方案。

型号95.3 HV的核心技术优势在于其蝶阀与角阀/闸阀的一体化集成设计。该产品将蝶阀（用作节流阀，实现精确压力控制）与角阀（DN≤50mm）或闸阀（DN≥63mm）（实现严密密封隔离）结合于一个紧凑单元中，由同一集成32位IC2压力控制器驱动，大幅减少占地面积，无需像安装两个独立阀门那样额外使用法兰和连接器。集成控制器能够快速、精确且极其精细地控制蝶阀位置，同时控制集成式角阀或闸阀的隔离功能，两个阀门的运动周期同步于同一运动曲线，实现平稳运行。即使在隔离阀关闭的情况下，组合阀也能将蝶阀打开至预设角度，避免关闭位置出现死腔。压力控制范围覆盖1×10⁻⁸mbar至1.2bar（绝对压力），泄漏率低于1×10⁻⁹mbar·L/s，兼具优异的控制精度与密封性能。阀体最高耐受温度120℃，控制器建议工作温度≤50℃。保养前操作周期达200万次（压力控制），具有优异的长期可靠性。

在尺寸规格与选型灵活性层面，95.3 HV系列提供DN 25至DN 250的完整尺寸覆盖（1英寸至10英寸），阀体材质可选铝或不锈钢（DN≤50mm），法兰标准为ISO-KF和ISO-F，可根据客户需求定制法兰与密封材料。标准密封材料为FKM，可根据要求提供多种FFKM/FKM弹性体。

从典型应用场景来看，95.3 HV系列适用于半导体CVD工艺的紧凑型压力控制与隔离、显示器薄膜封装（TFE）的真空管理、空间受限的研发设备与生产工具，以及需要减少法兰连接点的真空系统等场景。池田屋技术团队指出，95.3 HV系列在精密测量与自动化控制方面表现稳健，是空间受限型精密真空工艺的理想选择。

池田屋实业有限公司表示，此次将VAT 95.3 HV系列控制和隔离阀组合单元引入国内市场，旨在为本土半导体与制造企业提供兼具紧凑集成与高性能控制的真空流体管理解决方案。未来，池田屋将持续围绕精密测量、自动化控制与流体管理三大方向深耕，助力中国半导体与显示制造的真空系统小型化与效能提升。