池田屋推出Teflon®真空吸笔 F001-Z-02-PK 夹头卡盘接头/5英寸晶圆用

池田屋推出Teflon®真空吸笔 F001-Z-02-PK 夹头卡盘接头/5英寸晶圆用

池田屋推出Teflon®真空吸笔 F001-Z-02-PK 夹头卡盘接头/5英寸晶圆用

摘要

池田屋实业（深圳）有限公司近日推出F001-Z-02-PK Teflon®真空吸笔，专为5英寸（125mm）半导体晶圆与精密元件搬运设计。该产品为NC（常闭）阀门类型，主体采用Teflon®（PTFE）材质，头部采用导电PEEK材质，配备夹头卡盘接头，总长224mm，重量33g。Teflon®主体具有优异的耐化学性与低颗粒产生特性，导电PEEK头部提供良好的静电防护性能与耐磨性，NC常闭设计可有效防止误操作导致的晶圆掉落，夹头卡盘接头确保与真空管路的可靠连接。适用于半导体晶圆加工、洁净室操作、化学环境下的精密搬运及芯片处理等应用场景。

正文

在半导体晶圆加工、化学处理及洁净室操作中，晶圆的安全搬运对操作可靠性、耐化学性与连接稳定性提出了严格要求。传统的快速接头在频繁插拔过程中可能存在松动风险，而常开型吸笔在真空源意外中断时可能导致晶圆掉落。针对5英寸（125mm）半导体晶圆搬运中对操作安全性与连接可靠性的双重需求，池田屋实业（深圳）有限公司推出F001-Z-02-PK Teflon®真空吸笔。该产品现已正式供应，为化学环境下的晶圆安全搬运提供可靠的解决方案。

F001-Z-02-PK是F系列Teflon®真空吸笔中的NC（常闭）阀门类型产品，配备夹头卡盘接头，专为5英寸（125mm）半导体晶圆与精密元件搬运设计。NC型为常闭设计，未按压开关时吸笔处于关闭状态，不产生吸附力。操作者需主动按压开关方可导通真空吸附晶圆，释放时松开开关即可。这一设计可有效防止因真空源误操作或意外触碰导致的晶圆掉落事故，特别适合对安全性要求高的晶圆搬运作业。夹头卡盘接头是该型号的核心特色，通过旋紧夹头实现真空管路的可靠固定与密封，相比快速接头具有更高的连接稳定性与气密性，可有效防止因连接松动导致的吸附力下降或晶圆掉落事故。

在材质方面，F001-Z-02-PK主体采用Teflon®（PTFE，聚四氟乙烯）材质，头部采用导电PEEK（聚醚醚酮）材质。Teflon®具有优异的耐化学性，可耐受绝大部分酸、碱及有机溶剂的腐蚀，适用于化学气相沉积（CVD）、湿法清洗等工艺环境下的晶圆搬运。同时，Teflon®材质具有良好的非粘附特性，可最大限度减少颗粒产生与残留，满足洁净室对颗粒污染的严格要求。导电PEEK头部在具备优异耐化学性的同时，提供良好的静电防护性能，可将操作过程中产生的静电安全导地，避免静电对敏感元件的潜在损伤。PEEK材质具有良好的耐磨性与尺寸稳定性，硬度低于硅材料，不会划伤晶圆表面，确保长期使用的可靠性。

在规格方面，F001-Z-02-PK总长224mm，重量33g，紧凑轻量化设计有效减轻操作人员长时间作业的负担。产品需与真空泵、ESD防静电管、静电消散接地套件等配件配合使用，构建完整的搬运系统。

在应用场景方面，F001-Z-02-PK广泛适用于5英寸半导体晶圆的搬运与转移、化学工艺环境下的晶圆处理、洁净室环境下的精密操作、芯片与裸片的拾取与放置，以及各类需要耐化学性与操作安全性的精密搬运场景。

F001-Z-02-PK广泛应用于半导体晶圆加工、化学处理环境、洁净室操作及芯片组装等领域。池田屋表示，该产品以NC常闭阀门与夹头卡盘接头的组合设计，为化学环境下的晶圆安全搬运提供了可靠的解决方案。