PILLAR 株式会社 SPELA 300 风囊泵 PS 系列技术解析

PILLAR（日本皮拉）SPELA 300 风囊泵 PS 系列为中温用药液供给管路用气动风囊泵，接液部全部采用耐化学性出色的氟树脂（PTFE、PFA），与 PS-E 系列同属 SPELA 300 平台，但接口形式与流量规格不同，面向药液供给而非清洗循环。

系列定位差异

PS-E 系列面向清洗装置循环管路，内置脉压调节器，单泵即可实现低脉动，占用空间比例 0.5。PS 系列面向药液供给管路，连接口采用 SUPER 300 TYPE PILLARFITTING（部分型号 IN 侧可用 JIS10K 32A 法兰），流量规格更大，最高至 48 L/min。

规格（PS 系列 中温用）

最大吐出压力 0.45 MPaG（PS-10MA/20MA/30M 按温压分段；PS-40MA 为 0.45 MPaG）。脉动压力范围：吐出压力 ≥0.1 MPaG 时在吐出压力 ±12.5% 以内；＜0.1 MPaG 时在 0.03 MPa 以内。

安装与使用要点

配管要求：须使用对应泵连接口径的配管，泵 IN 侧配管距离应在 2m 以内。

冲程速度：须确保在 100spm 以内（PS-30M 为 90spm 以内）。

连接口型号：PS 系列连接口型号因接头种类而异，订购时必须注明，这是与 PS-E 系列的重要区别。

防爆与 CMP：需防爆处理时可提供带防爆规格接近传感器的泵；使用 CMP 研磨液时建议改用专用 PC 系列研磨液用泵。

风囊寿命：材料为抗弯曲疲劳特性出色的特殊 PTFE，弯曲部分经特殊加工形成 R 形状以分散应力，实现长寿命化。

应用场景

样本给出半导体工厂使用示例：药液槽 → 药液供给装置 → 清洗装置，涉及药液供给层与洁净室层。药液供给管路使用 SPELA 300 风囊泵（PS 系列），清洗装置循环管路使用 PS-E 系列，配合 PW 系列定量泵、SUPER 300 TYPE PILLARFITTING 接头与截止阀构成完整系统。

优势品牌：EYE 岩崎、SEN 日森、CCS 晰写速、NPM 日脉、REVOX 莱宝克斯、SERIC 索莱克、SONIC 索尼克、SANKO 三高、TOPCON 拓普康、TOKI 东机产业、NEWKON 新光、HAYASHI 林时计、SIBATA 柴田、SUGIYAMA 杉山电机、OHKURA 大仓、ULVAC 爱发科、TORAY 东丽、EBARA 荏原、ANALYZER 热研、NFK 南国工业、MATSUO 松尾、NIKKATO 日陶、HEIDON 新东科学、JIKCO 吉高、OTSUKA 大塚电子、ITOH 伊藤、kakuhunter 写真化学、WATSON 沃森、RIYYO 理阳、ESSGES 宜格斯、ATAGO 爱拓、PFERD 马圈、TEMTOP 乐控、TSUBAKI 椿本