PILLAR 株式会社 SPELA 300 风囊泵 PS-E 系列技术解析

日本 PILLAR（日本皮拉）SPELA 300 风囊泵 PS-E 系列为中温用气动风囊泵，接液部全部采用耐化学性出色的氟树脂（PTFE、PFA），内置脉压调节器功能，泵单体即可实现低脉动，主要用于清洗装置循环管路。

低脉动实现机制与对比

传统方案为泵 + 外置蓄能器（如 PS-20MA + PA-20HB），占用空间比例为 1。PS-E 系列内置脉压调节器功能，单泵即可降低脉压，占用空间比例降至 0.5；PE 系列为 0.7。空间与成本优势直接来自取消外置脉压调节器。

高品质风囊

风囊材料采用抗弯曲疲劳特性出色的特殊 PTFE，弯曲部分经特殊加工形成 R 形状以分散应力，实现长寿命化。对比传统产品，PS-E 系列在相同经过时间下的脉压曲线更平缓。

规格（PS-E 系列 中温用）

最大吐出压力 0.25 MPaG。脉动压力范围：吐出压力 ≥0.1 MPaG 时在吐出压力 ±12.5% 以内；＜0.1 MPaG 时在 0.03 MPa 以内（需另行安装说明书规定的空气槽）。泵风囊容许差压＝供给空气压力－吐出压力。

高温用型号（PS-E 系列 高温用）

同系列另有 PS-E10H、PS-E20H、PS-E40H，使用液温扩展至更高范围（按吐出压力与供给压力分段，可达 180℃），连接口径改为英寸制（IN φ3/4"～φ1-1/4"，OUT φ1/2"～φ1"），性能曲线以乙二醇为流体测定。具体温压分段需按样本表逐档确认。

安装与使用要点

配管要求：为充分发挥性能，须使用对应泵连接口径的配管，泵 IN 侧配管距离应在 2m 以内。

冲程速度：使用时须确保冲程速度在 100spm 以内（PS-E10MA 为 120spm 以内）。

防爆：使用有机液体等需防爆处理时，可提供带防爆规格接近传感器的泵，需另行咨询。

CMP 研磨液：使用 CMP 研磨液时建议改用专用的 PC 系列研磨液用泵。

应用场景

样本给出半导体工厂使用示例：药液槽 → 药液供给装置 → 清洗装置循环管路，涉及药液供给层与洁净室层，配管中大量使用 PILLAR 接头与管件，SPELA 300 风囊泵（PS-E 系列与 PS 系列）与 PW 系列定量泵配合使用。

优势品牌：EYE 岩崎、SEN 日森、CCS 晰写速、NPM 日脉、REVOX 莱宝克斯、SERIC 索莱克、SONIC 索尼克、SANKO 三高、TOPCON 拓普康、TOKI 东机产业、NEWKON 新光、HAYASHI 林时计、SIBATA 柴田、SUGIYAMA 杉山电机、OHKURA 大仓、ULVAC 爱发科、TORAY 东丽、EBARA 荏原、ANALYZER 热研、NFK 南国工业、MATSUO 松尾、NIKKATO 日陶、HEIDON 新东科学、JIKCO 吉高、OTSUKA 大塚电子、ITOH 伊藤、kakuhunter 写真化学、WATSON 沃森、RIYYO 理阳、ESSGES 宜格斯、ATAGO 爱拓、PFERD 马圈、TEMTOP 乐控、TSUBAKI 椿本