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池田屋精品！INFICON碳氢化合物检测器（HCD）技术参数

更新时间：2026-07-10      浏览次数：24

池田屋精品！INFICON碳氢化合物检测器（HCD）技术参数

池田屋精品！INFICON碳氢化合物检测器（HCD）技术参数

一、产品概述

INFICON碳氢化合物检测器（Hydrocarbon Detector, HCD）是一款基于紫外光电离（Photoionization）原理的实时监测设备，专为严苛工业制造环境中的关键过程监控而设计。该检测器采用宽带、非选择性传感器，能以超高灵敏度实时检测碳氢化合物（VOCs）和硅油等污染物，适用于半导体制造、太阳能电池、制药及真空工艺等应用场景。它可与现有系统和INFICON FabGuard®软件无缝集成，在所有腔室条件下均可运行，且无需对泵系统进行特殊维护。

二、产品规格

项目规格
工作压力范围1 Torr ～ 1 atm
检测限ppm ～ ppb 级（取决于工作压力）
工作温度范围-25℃ ～ 180℃
灵敏度（高发射）> 2×10⁻⁵ A/Torr
安装法兰KF25（标准），可提供定制选项
可用I/O4-20mA、0-10V 模拟量、Modbus TCP
紫外光电离能量10.0 eV / 10.6 eV 氪放电
检测原理紫外光电离（Photoionization）

三、核心设计特征

1. 超宽工作压力范围
工作压力范围覆盖 1 Torr 至 1 atm（标准大气压），可灵活部署于粗真空至大气压的不同工艺阶段，适用于多种工业环境。

2. 超高灵敏度
高发射模式下灵敏度 > 2×10⁻⁵ A/Torr，检测限低至 ppb 级，可捕捉极微量的碳氢化合物和硅油污染信号。

3. 宽工作温度范围
可在 -25℃ 至 180℃ 的宽温度范围内稳定工作，适应高温工艺环境。

4. 紫外光电离原理
采用 10.0/10.6 eV 氪放电 紫外光电离技术，可选择性电离挥发性有机化合物（VOCs）而不产生碎片离子，质谱图简单，无需样品分离即可进行分析。该原理特别适合挥发性有机污染物和有毒气体的现场快速检测。

5. 灵活的接口与通信
支持 4-20mA、0-10V 模拟量输出 以及 Modbus TCP 数字通信，可轻松集成至现有控制系统和工厂网络中。

6. 低总拥有成本
传感器安装快捷简便，仅需 KF25 法兰即可安装，最大限度减少工具所需空间和停机时间。无需对泵系统进行特殊维护，投资回报率高。

7. FabGuard®软件兼容
与 INFICON FabGuard® 传感器整合分析系统兼容，可实现数据收集、整合分析及统计过程控制（SPC）谱图报警等功能。

四、应用场景

应用类型说明
半导体制造检测光刻胶残留物污染，监控刻蚀工艺副产物
冷冻干燥应用检测泵油污染对冻干产品的影响
太阳能电池制造监控工艺腔体中的碳氢化合物污染
真空工艺实时监测真空系统中的有机污染物
制药生产满足合规性标准，监控溶剂残留

五、选型要点

  • 工作压力范围：确认目标工艺压力是否在 1 Torr 至 1 atm 范围内

  • 检测限需求：根据工艺要求确认 ppm/ppb 级检测限是否满足

  • 工作温度：确认环境温度是否在 -25℃ 至 180℃ 范围内

  • 通信协议：确认上位系统支持 4-20mA、0-10V 或 Modbus TCP

  • 软件集成：确认是否需要 FabGuard® 软件进行数据整合分析

  • 安装法兰：标准 KF25，如有特殊需求可定制

六、注意事项

  • 工作压力范围覆盖从粗真空到大气压，选型时需确认实际工艺压力

  • 检测限会随工作压力变化，高压下灵敏度可能降低

  • 安装法兰标准为 KF25，如需其他规格请在订购时注明

  • 该检测器为非选择性传感器，可响应多种碳氢化合物和硅油

  • 紫外灯（10.0/10.6 eV）为消耗品，需定期更换以维持性能

七、总结

INFICON碳氢化合物检测器通过紫外光电离原理、超宽工作压力范围（1 Torr 至 1 atm）及 ppb 级检测限，为半导体制造、制药生产和真空工艺等行业提供了一套高灵敏度、高可靠性的碳氢化合物实时监测解决方案。其灵活的接口通信方式（4-20mA、0-10V、Modbus TCP）和 FabGuard® 软件集成能力，适用于光刻胶污染检测、冷冻干燥泵油监控及真空腔室清洁终点判断等对污染控制要求苛刻的工业应用场景。