池田屋精品！INFICON QMG 800残余气体分析仪技术参数

池田屋精品！INFICON QMG 800残余气体分析仪技术参数

一、产品概述

INFICON QMG 800 是继 QMG 700 之后的新一代四极杆残余气体分析仪（RGA），在测量速度、灵敏度与灵活性方面实现了全面升级。该产品专为各种分析质谱应用而设计，尤其适用于污染监测过程中的精确分析，可帮助半导体、光伏、科研及工业制造等领域实现高纯度和质量控制目标。

QMG 800 融合了 INFICON 在气体分析领域超过 50 年的技术积累，采用先进的数字平台与模块化设计，能够灵活适配从超高真空环境监测到精密工艺控制等复杂应用场景。

二、产品规格

三、核心设计特征

1. 行业的测量速度
QMG 800 的扫描速度达到 125 微秒/AMU，可精准捕捉瞬态气体变化，为高速工艺控制提供实时数据支持。

2. 90° 离轴扫描电子显微镜
采用 90° 离轴设计，可最大限度降低自由基和非电离粒子的噪声干扰，显著提升信噪比。

3. 单离子检测能力
具备的精度和灵敏度，支持单离子检测功能，动态工作范围达 10dB，可在相同压力下捕捉更微弱的信号。

4. 多种离子源选项
提供适用于不同应用的离子源选择，其中磁交叉束离子源灵敏度可达 7×10⁻⁴ A/mbar，满足多种工艺需求。

5. 先进的数字平台与通信
支持 OPC UA 通信协议，可无缝集成于智能工厂与自动化系统中。

6. FabGuard® 软件兼容性
与 INFICON FabGuard® 软件套件兼容，提供深度数据分析和故障预警功能，实现的诊断能力。

四、典型应用场景

五、选型要点

• 质量范围：确认所需质量范围是否在 1-512 amu 范围内

• 离子源类型：根据应用需求选择适合的离子源（轴向/交叉束/磁交叉束/网格）

• 工作压力：确认系统工作压力是否在 1×10⁻⁵ mbar 以内

• 通信协议：确认是否需要 OPC UA 通信以实现工厂自动化集成

• 软件兼容性：确认是否需要 FabGuard® 软件套件进行深度数据分析

• 检测灵敏度：根据痕量分析需求确认最小可检测分压（1×10⁻¹⁵ mbar）是否满足要求

六、注意事项

• 最高工作温度（传感器及电子元件）为 40°C，安装时需确保散热条件

• 四极杆材质为钼，使用过程中需避免腐蚀性气体对四极杆的损害

• 若需实现单离子检测功能，需确认配置是否支持

• 不同离子源选项的灵敏度和适用场景存在差异，选型时需根据具体应用评估

七、总结

INFICON QMG 800 残余气体分析仪通过 125 微秒/AMU 的极速扫描、90° 离轴低噪声设计及单离子检测功能，为半导体制造、光伏工艺、科研实验及工业质检等领域提供了一套高性能、高可靠性的气体分析解决方案。其 1-512 amu 的质量范围、1×10⁻¹⁵ mbar 的最小可检测分压及 OPC UA 通信支持，适用于污染检测、气体纯度监测、终点检测及分子束外延监测等对精度和速度要求高的应用场景。