池田屋新品推出神津精密自动Z轴平台 ZA10A-W202

池田屋新品推出神津精密自动Z轴平台 ZA10A-W202

池田屋新品推出神津精密自动Z轴平台 ZA10A-W202

摘要

池田屋实业（深圳）有限公司近日推出光洲精密（KOHZU Precision）ZA10A-W202自动Z轴平台。该产品采用1/2楔形块与滚珠丝杠（导程1.0mm）复合驱动结构，搭载精密十字滚柱导轨，台面尺寸100mm×100mm，移动范围±7mm，重复定位精度≤±0.2μm（平均±0.06μm），水平承载能力98N（10kgf）。分辨率整步0.5μm/半步0.25μm（微步进1/20分割可达0.025μm），最高速度2.5mm/s，空程≤1μm（平均0.28μm），垂直度≤5μm/14mm（平均2.15μm/14mm），主体材质为铝合金，重量3.25kg。适用于半导体晶圆定位、光学元件高度调整、精密测量仪器Z轴定位及显微镜对焦等需要高精度垂直定位的应用场景。

正文

在半导体晶圆定位、光学元件高度调整及精密测量仪器等应用中，Z轴垂直方向的高精度定位是实现精确聚焦与高度控制的关键环节。传统的垂直升降机构在分辨率与行程方面难以兼顾，且普通丝杠驱动在垂直方向上的背隙问题影响定位精度。针对高精度垂直定位的需求，池田屋实业（深圳）有限公司推出光洲精密（KOHZU Precision）ZA10A-W202自动Z轴平台。该产品现已正式供应，为高精度垂直定位提供可靠的解决方案。

ZA10A-W202是光洲精密推出的楔形自动Z轴平台，采用1/2英寸楔形块与滚珠丝杠（导程1.0mm）复合驱动结构，通过楔形斜面将水平运动转化为垂直升降，实现高分辨率与高刚性的垂直定位。台面尺寸100mm×100mm，移动范围±7mm，水平承载能力98N（10kgf）。主体采用铝合金材质，白色表面氧化处理，重量3.25kg。导轨方式采用精密十字滚柱导轨，确保垂直运动的平稳性与高刚性。

在精度性能方面，重复定位精度≤±0.2μm（平均±0.06μm），空程≤1μm（平均0.28μm），垂直度≤5μm/14mm（平均2.15μm/14mm）。分辨率整步0.5μm/半步0.25μm（微步进1/20分割可达0.025μm），最高速度2.5mm/s，实现亚微米级垂直定位精度。

在电气规格方面，搭载东方马达5相步进电机（PK544PMB，额定电流0.75A/相，基本步距角0.36°），电机轴径φ5mm（可选配手柄A型）。传感器板型号为F-115R（原点/限位），连接器采用广濑RP13A-12RA-20PC。提供两相电机规格选项（ZA10A-W202-BM），采用东方马达PKP244D15B电机，连接器相同。

在产品可选规格方面，支持洁净润滑脂规格（后缀“-C"）与真空润滑脂规格（后缀“-V"），适配洁净室与真空环境应用。大修费用约60,000日元，洁净/真空润滑脂更换费用各36,000日元，同形电机更换费用12,000日元，异形电机更换费用30,000日元。

在应用场景方面，ZA10A-W202适用于半导体晶圆的高度定位、光学元件的垂直调整、精密测量仪器的Z轴定位、显微镜的自动对焦，以及各类需要高精度垂直定位的科研与工业应用。

ZA10A-W202广泛应用于半导体制造、光学仪器、精密测量及显微镜系统等领域。光洲精密表示，ZA10A-W202自动Z轴平台以楔形驱动结构与亚微米级重复定位精度，为高精度垂直定位提供了可靠的解决方案