池田屋新品推出光洲精密自动XY平台 YA10A-L101

池田屋新品推出光洲精密自动XY平台 YA10A-L101

池田屋新品推出光洲精密自动XY平台 YA10A-L101

摘要

池田屋实业（深圳）有限公司近日推出光洲精密（KOHZU Precision）YA10A-L101自动XY平台。该产品为采用精密直线导轨与研磨丝杠（导程1.0mm）的长行程XY平台，台面尺寸100mm×100mm，XY移动范围±50mm，重复定位精度≤±0.5μm，水平承载能力156.8N（16kgf）。分辨率整步2μm/半步1μm（微步进1/20分割可达0.1μm），最高速度10mm/s，累积误差≤20μm/100mm，正交性≤10μm/100mm。搭载5相步进电机（C087Q-9215P，0.75A/相），支持洁净与真空润滑脂规格定制，适配洁净室与真空环境应用。适用于测量仪器、光学对准、电子元件检测及各类精密定位设备。

正文

在测量仪器、光学对准及电子元件检测等领域，大行程、高精度的XY双向定位是实现精确测量与高效检测的基础。传统短行程平台在大尺寸工件或长距离扫描应用中存在局限性，难以满足±50mm行程范围的定位需求。针对大行程高精度XY定位的需求，池田屋实业（深圳）有限公司推出光洲精密（KOHZU Precision）YA10A-L101自动XY平台。该产品现已正式供应，为大行程精密定位应用提供可靠的解决方案。

YA10A-L101是光洲精密推出的长行程自动XY平台，采用精密直线导轨与研磨丝杠（导程1.0mm）进给机构，实现高分辨率与高刚性的XY双向定位。台面尺寸100mm×100mm，XY移动范围均为±50mm，覆盖大面积工件或长距离扫描的定位需求，正交性≤10μm/100mm。水平承载能力156.8N（16kgf），适用于各类测量仪器与检测设备中的工件承载。

在精度性能方面，重复定位精度≤±0.5μm，累积误差≤20μm/100mm，空程≤2μm，水平直线度≤3μm/100mm，垂直直线度≤2μm/100mm，背隙≤2μm，弯矩刚度0.10角秒/N·cm，分辨率整步2μm/半步1μm（微步进1/20分割可达0.1μm），最高速度10mm/s（使用AC100V输入电源驱动器时）。连接器采用圆形20针（广濑RP13A-12RA-20PC），传感器板型号为F-104（限位）与F-105（原点）。

在驱动方面，搭载东方马达5相步进电机（C087Q-9215P，额定电流0.75A/相，基本步进角0.72°），电机轴径φ8mm（可选配手柄B型）。提供两相电机规格选项（YA10A-L101-BM，额外费用¥80,000），连接器变更为方形20针（广濑PC-1620、P-1620A-STA）。大修费用约96,000日元，洁净/真空润滑脂更换费用各72,000日元，同形电机更换费用30,000日元，异形电机更换费用72,000日元。

在应用场景方面，YA10A-L101适用于测量仪器的XY双向定位、光学对准系统的位置调整、电子元件检测设备的扫描定位，以及半导体制造、精密加工等需要大行程高精度定位的科研与工业应用。

YA10A-L101广泛应用于测量仪器、光学对准、电子元件检测及半导体制造等领域。光洲精密表示，YA10A-L101自动XY平台以±50mm长行程与亚微米级重复定位精度，为大行程精密定位应用提供了可靠的解决方案。