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更新时间:2026-07-07
浏览次数:38池田屋精品!神津精机ZM07A-S3K手动Z轴平台技术参数与应用解析
光洲精机株式会社(Kohzu Precision Co., Ltd.)推出的 ZM07A-S3K 手动Z轴平台,属于其定位平台“万宝龙系列"(Montblanc Series)中的高精度手动升降型号。该平台采用精密交叉滚柱导轨与微调杠杆式驱动系统,配备光洲精机自主研发的FPP03-13精细螺距定位器,实现了亚微米级的垂直定位精度。平台台面尺寸为70mm×70mm,兼具粗调(±3mm)和微调(0.15mm)功能,适用于显微镜焦点调节、光学元件定位及精密测量等需要精细Z轴调整的应用场景。
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 型号 | ZM07A-S3K |
| 反向对称型号 | ZM07A-S3K-R |
| 台面尺寸 | 70mm × 70mm |
| 导轨方式 | 精密交叉滚柱导轨 |
| 驱动系统 | 精密定位器 FPP03-13(13mm行程) |
| 移动范围 | 粗调 ±3mm / 微调 0.15mm |
| 最小读数 | 粗调:约5μm/格 / 微调:约0.25μm/格 |
| 垂直度 | ≤4μm/6mm |
| 水平承载能力 | 29.4N(约3kgf) |
| 主体材质 | 铝合金 |
| 表面处理 | 白色涂装 |
| 自重 | 0.9kg |
| 选项 | 说明 | 费用 |
|---|---|---|
| 大修服务 | 定期检修保养(不含更换零件费用) | ¥24,000起 |
| 洁净润滑脂规格 | 型号后缀“-C",适用于洁净室环境 | ¥18,000 |
| 真空润滑脂规格 | 型号后缀“-V",适用于真空环境 | ¥18,000 |
| 配件 | 垫片等可选 | 另行报价 |
1. FPP03-13精细螺距定位器
搭载光洲精机自主研发的FPP03-13精细螺距定位器,实现亚微米级分辨率的手动微调(约0.25μm/格),远超普通千分尺头的精度。
2. 粗调+微调双模式驱动
兼具粗调(±3mm)和微调(0.15mm)两种调节模式,先通过粗调快速移动到目标位置附近,再通过微调实现精密定位,兼顾效率与精度。
3. 精密交叉滚柱导轨
采用精密交叉滚柱导轨,摩擦阻力小,运动平滑,确保垂直方向上的高精度直线运动。
4. 超高垂直度
垂直度≤4μm/6mm,确保在Z轴行程范围内的高精度直线性。
5. 紧凑轻量化设计
台面尺寸70mm×70mm,自重仅0.9kg,适合集成于显微镜、光学系统等空间有限的设备中。
6. 多种润滑脂规格可选
提供标准、洁净室(-C)和真空(-V)三种润滑脂规格,适配不同使用环境。
| 应用类型 | 说明 |
|---|---|
| 显微镜焦点调节 | 显微镜载物台的精细对焦调整 |
| 光学元件定位 | 透镜、反射镜等光学器件的精确Z轴定位 |
| 精密测量 | 轮廓仪、高度计等测量仪器的Z轴微调 |
| 半导体相关 | 晶圆探针台的Z轴手动微调 |
| 实验室研发 | 研究开发中的精密垂直定位操作 |
行程需求:确认所需Z轴移动范围是否在粗调±3mm + 微调0.15mm以内
承载能力:确认垂直负载是否在3kgf(29.4N)以内
精度要求:确认微调分辨率(约0.25μm/格)是否满足应用需求
使用环境:根据洁净度要求选择标准、洁净(-C)或真空(-V)润滑脂规格
安装空间:确认设备自重0.9kg及台面尺寸70mm×70mm
大修费用不含更换零件费用
参考价格为2026年3月修订后价格,具体请以最新报价为准
FPP03-13精细螺距定位器为光洲精机自主研发产品,更换维修需联系原厂
光洲精机ZM07A-S3K手动Z轴平台通过精密交叉滚柱导轨与FPP03-13精细螺距定位器的组合,在粗调±3mm + 微调0.15mm的行程范围内实现了亚微米级的手动定位分辨率(约0.25μm/格)。其0.9kg的轻量化设计、3kgf的承载能力及≤4μm/6mm的垂直度,适用于显微镜焦点调节、光学元件定位及精密测量等对Z轴手动微调精度要求较高的应用场景。