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更新时间:2026-06-30
浏览次数:18池田屋推出光津精机(Kohzu Precision)品牌YRA-070自动XYθ平台。该产品为精密薄片对准平台,台面尺寸70×70mm,XY轴行程±3mm,θ轴旋转±3°,重复定位精度≤±0.5μm,角度重复精度≤0.001°,适用于光纤对准、光学元件定位及精密组装等应用。
一、产品概述
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 产品名称 | 自动XYθ平台 |
| 型号 | YRA-070 |
| 品牌 | 光津精机(Kohzu Precision) |
| 台面尺寸 | 70mm × 70mm |
| 机身厚度 | 45mm |
| 导向方式 | XY:精密十字滚子导轨 / θ:十字滚子轴承 |
| 进给方式 | 滚珠丝杠,导程1.0mm |
| 材质 | 铝合金(白色饰面) |
| 本体重量 | 约1.45kg |
二、运动规格
| 轴 | 行程/范围 | 分辨率(全步/半步) |
|---|---|---|
| X轴 | ±3mm | 2μm / 1μm |
| Y轴 | ±3mm | 2μm / 1μm |
| θ轴 | ±3° | 0.002546° / 0.001273° |
三、精度与重复性
| 项目 | X轴 | Y轴 | θ轴 |
|---|---|---|---|
| 重复定位精度 | ≤±0.5μm(平均±0.088μm) | ≤±0.5μm(平均±0.075μm) | — |
| 角度重复性 | — | — | ≤0.001°(平均0.0002°) |
| 失动量 | ≤2μm(平均0.356μm) | ≤2μm(平均0.354μm) | ≤0.005°(平均0.0013°) |
| 背隙 | ≤1μm(平均0.35μm) | ≤1μm(平均0.288μm) | ≤0.005°(平均0.0013°) |
四、直线度与刚性
| 项目 | X轴 | Y轴 |
|---|---|---|
| 水平直线度 | ≤1μm/6mm(平均0.237μm/6mm) | ≤1μm/6mm(平均0.253μm/6mm) |
| 垂直直线度 | ≤1μm/6mm(平均0.154μm/6mm) | ≤1μm/6mm(平均0.187μm/6mm) |
| 弯矩刚度 | 0.6角秒/N·cm(平均0.474) | 0.6角秒/N·cm(平均0.434) |
五、θ轴精度
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 水平承载能力 | 49N(5kgf) |
| 摆动 | ≤5μm/±3°(平均2.708μm/±3°) |
| 偏心 | ≤3μm/±3°(平均0.517μm/±3°) |
六、电气规格
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 传感器板型号 | XY:F-106(原点、限位)/ θ:F-106R(原点、限位) |
| 电机 | 5相步进电机(东方马达PK513PB) |
| 额定电流 | 0.35A/相 |
| 基本步进角 | 0.72° |
| 连接器类型 | 圆形20针连接器(广濑RP13A-12JG-20PC) |
七、最高速度
| 轴 | 最高速度 |
|---|---|
| X/Y轴 | 10mm/s(10kpps半步) |
| θ轴 | 12.7°/s(10kpps半步) |
八、核心特点
三轴精密定位:XY轴直线运动与θ轴旋转运动一体化,实现三自由度精密对准。
超高重复定位精度:XY轴重复定位精度≤±0.5μm,θ轴角度重复性≤0.001°。
高精度导轨:XY轴采用精密十字滚子导轨,θ轴采用十字滚子轴承,确保运动平稳性和精度。
紧凑薄型设计:机身厚度仅45mm,适用于空间受限的精密设备。
5相步进电机驱动:采用东方马达5相步进电机,提供平稳、低振动的运动性能。
高刚性结构:弯矩刚度0.6角秒/N·cm,确保结构稳定性。
九、选配服务
| 服务 | 费用 |
|---|---|
| 大修费用 | 约120,000日元(不含更换零件) |
| 清洁润滑脂更换(-C型号) | 约45,000日元 |
| 真空润滑脂更换(-V型号) | 约45,000日元 |
| 同型号电机更换 | 约45,000日元(不含电机本身) |
十、典型应用场景
| 应用领域 | 具体用途 |
|---|---|
| 光纤对准 | 光纤与光器件精密耦合 |
| 光学元件定位 | 透镜、棱镜等多轴对准 |
| 精密组装 | 微小部件高精度定位 |
| 半导体制造 | 晶圆定位与对准 |
| 检测设备 | 精密检测定位 |
十一、使用注意事项
水平承载能力49N(5kgf),请勿超载使用
建议在清洁环境中使用,定期清洁导轨和丝杠
选配清洁润滑脂或真空润滑脂时需在订购时指定(-C或-V后缀)
更换电机时需确认电机型号匹配
池田屋表示,光津精机YRA-070自动XYθ平台凭借±0.5μm重复定位精度、0.001°角度重复性及45mm超薄机身,可满足光纤对准及精密定位应用需求。