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池田屋精品!光津精机自动XYθ平台 YRA-070 参数介绍

更新时间:2026-06-30      浏览次数:18

池田屋精品!光津精机自动XYθ平台 YRA-070 参数介绍

池田屋精品!光津精机自动XYθ平台 YRA-070 参数介绍

池田屋推出光津精机(Kohzu Precision)品牌YRA-070自动XYθ平台。该产品为精密薄片对准平台,台面尺寸70×70mm,XY轴行程±3mm,θ轴旋转±3°,重复定位精度≤±0.5μm,角度重复精度≤0.001°,适用于光纤对准、光学元件定位及精密组装等应用。

一、产品概述

项目规格
产品名称自动XYθ平台
型号YRA-070
品牌光津精机(Kohzu Precision)
台面尺寸70mm × 70mm
机身厚度45mm
导向方式XY:精密十字滚子导轨 / θ:十字滚子轴承
进给方式滚珠丝杠,导程1.0mm
材质铝合金(白色饰面)
本体重量约1.45kg

二、运动规格

行程/范围分辨率(全步/半步)
X轴±3mm2μm / 1μm
Y轴±3mm2μm / 1μm
θ轴±3°0.002546° / 0.001273°

三、精度与重复性

项目X轴Y轴θ轴
重复定位精度≤±0.5μm(平均±0.088μm)≤±0.5μm(平均±0.075μm)
角度重复性≤0.001°(平均0.0002°)
失动量≤2μm(平均0.356μm)≤2μm(平均0.354μm)≤0.005°(平均0.0013°)
背隙≤1μm(平均0.35μm)≤1μm(平均0.288μm)≤0.005°(平均0.0013°)

四、直线度与刚性

项目X轴Y轴
水平直线度≤1μm/6mm(平均0.237μm/6mm)≤1μm/6mm(平均0.253μm/6mm)
垂直直线度≤1μm/6mm(平均0.154μm/6mm)≤1μm/6mm(平均0.187μm/6mm)
弯矩刚度0.6角秒/N·cm(平均0.474)0.6角秒/N·cm(平均0.434)

五、θ轴精度

项目规格
水平承载能力49N(5kgf)
摆动≤5μm/±3°(平均2.708μm/±3°)
偏心≤3μm/±3°(平均0.517μm/±3°)

六、电气规格

项目规格
传感器板型号XY:F-106(原点、限位)/ θ:F-106R(原点、限位)
电机5相步进电机(东方马达PK513PB)
额定电流0.35A/相
基本步进角0.72°
连接器类型圆形20针连接器(广濑RP13A-12JG-20PC)

七、最高速度

最高速度
X/Y轴10mm/s(10kpps半步)
θ轴12.7°/s(10kpps半步)

八、核心特点

三轴精密定位:XY轴直线运动与θ轴旋转运动一体化,实现三自由度精密对准。

超高重复定位精度:XY轴重复定位精度≤±0.5μm,θ轴角度重复性≤0.001°。

高精度导轨:XY轴采用精密十字滚子导轨,θ轴采用十字滚子轴承,确保运动平稳性和精度。

紧凑薄型设计:机身厚度仅45mm,适用于空间受限的精密设备。

5相步进电机驱动:采用东方马达5相步进电机,提供平稳、低振动的运动性能。

高刚性结构:弯矩刚度0.6角秒/N·cm,确保结构稳定性。

九、选配服务

服务费用
大修费用约120,000日元(不含更换零件)
清洁润滑脂更换(-C型号)约45,000日元
真空润滑脂更换(-V型号)约45,000日元
同型号电机更换约45,000日元(不含电机本身)

十、典型应用场景

应用领域具体用途
光纤对准光纤与光器件精密耦合
光学元件定位透镜、棱镜等多轴对准
精密组装微小部件高精度定位
半导体制造晶圆定位与对准
检测设备精密检测定位

十一、使用注意事项

  • 水平承载能力49N(5kgf),请勿超载使用

  • 建议在清洁环境中使用,定期清洁导轨和丝杠

  • 选配清洁润滑脂或真空润滑脂时需在订购时指定(-C或-V后缀)

  • 更换电机时需确认电机型号匹配

池田屋表示,光津精机YRA-070自动XYθ平台凭借±0.5μm重复定位精度、0.001°角度重复性及45mm超薄机身,可满足光纤对准及精密定位应用需求。