池田屋原装爱发科真空泵DA-30S产品介绍技术参

在精密工业与科研领域，真空环境的洁净度与稳定性直接决定着实验结果的准确性和产品的良品率。ULVAC（爱发科）DA-30S膜片干式真空泵，作为真空技术领域的经典之作，凭借无油洁净的核心优势、稳定高效的性能表现，成为众多精密场景的理想真空解决方案。这款泵凝聚了爱发科数十年的真空技术积淀，专为捍卫“绝对洁净"的真空环境而生，从启动到运行全程杜绝油雾污染，为半导体制造、科研分析、自动化生产等领域保驾护航。

二、核心技术参数

DA-30S的性能参数经过精准调校，能满足多场景的真空需求：

• 抽气速度：在50Hz电源下，有效抽速可达24L/min；60Hz电源下，抽速提升至30L/min，可快速建立所需真空环境，大幅缩短实验或生产的准备时间。

• 极限压力：极限压力可达26.6×10³ Pa（约-74.7 kPa表压），能为各类精密操作提供稳定的真空条件。

• 电机配置：采用单相电机，支持100V和220V两种电压规格，功率为39W（50Hz）/43W（60Hz），在保证强劲动力的同时，有效控制能耗。

• 外形与重量：机身尺寸仅为132×203×182mm，重量仅3.9kg，小巧紧凑的设计使其便于集成到各类实验设备或小型自动化产线中，节省空间资源。

• 接口规格：吸排气口径为O.D.φ9×I.D.φ5，适配多数常规真空管道，安装便捷。

三、性能优势

1. 无油洁净设计

泵体内部气体接触部位不使用润滑油，实现全程无油洁净排气，从根源上杜绝了油气回流污染样品或实验环境的风险。在半导体芯片制造、质谱分析等对洁净度要求严苛的场景中，这一特性能有效避免产品报废或数据失真，保障实验与生产的可靠性。

2. 高效抽气结构

采用一段式排气结构，相较于追求高真空度的二级结构，在抽气速度上更具优势。可直接从大气压下启动，快速达到目标真空度，无论是真空吸附固定工件，还是作为分析仪器的前级排气设备，都能提供高效稳定的动力支持。

3. 安全智能防护

内置自动复位型热保护器，当电机因过载或异常过热时，会自动切断电路，待设备冷却后自动恢复运行，有效避免电机损坏，延长设备使用寿命。同时，简单的结构设计降低了故障发生率，也让后期维护更加便捷。

四、广泛应用场景

1. 科研与分析领域

在气相色谱仪、质谱分析仪等精密分析仪器中，DA-30S可作为真空级泵，为分析腔体提供持续稳定的洁净真空环境，确保检测数据的准确性和重复性，助力科研人员精准获取实验结果。

2. 自动化搬运领域

配合真空吸盘，可用于电子元器件、光学镜片等易碎、易损物品的无损吸附与搬运。无油洁净的特性不会污染工件表面，保障产品品质，同时高效的抽气速度能提升搬运效率，适配自动化产线的快节奏需求。

3. 半导体制造领域

在晶圆检查装置、探针台等半导体设备中，DA-30S可用于晶圆的吸附固定，避免油污污染芯片表面，保障半导体器件的性能与良率，为半导体制造的精密流程提供可靠支撑。

五、维护注意事项

为确保DA-30S的长期稳定运行，需注意以下维护要点：避免长时间连续运行，防止泵体过早磨损；严禁吸入腐蚀性气体、有机溶剂或水蒸气，以免损坏内部组件；膜片作为消耗品，建议每3000小时定期检查更换，确保抽气性能稳定。