池田屋原装荏原 干式真空泵 EV-A10产品介绍技术参

荏原EV-A10干式真空泵是日本荏原（EBARA）推出的一款紧凑型风冷式无油真空设备，凭借先进的设计理念与性能，成为工业生产与科研实验领域的理想真空解决方案。该泵全程无需油、水等工作介质，依靠转子间的精密配合实现气体密封与输送，从根源上杜绝了介质泄漏污染风险，契合现代工业对清洁真空环境的严苛要求。

相较于传统油式、水环式真空泵，EV-A10以“plug & pump"的便捷操作模式脱颖而出，接通电源即可启动运行，无需复杂的前期调试与配套冷却系统搭建。其紧凑的机身设计搭配滚轮装置，不仅大幅节省占地面积，更便于在生产车间、实验室等场景灵活移动与布置，适配多工位交替作业需求。

二、核心技术参数

（一）真空性能参数

EV-A10拥有强劲的抽气能力，额定抽速可达1000L/min（50Hz下约35.3CFM），能快速建立并维持稳定的真空环境。极限压力可达3.0Pa（气镇打开时），无气镇状态下更可低至1.0×10⁻²mbar，足以满足高精度实验与精细化工生产的真空要求。针对含湿气体场景，该泵配备高效气镇装置，水蒸气最大抽速可达500g/hr，有效避免冷凝水对泵体内部的腐蚀与损坏。

（二）电气与能耗参数

电源适配性广泛，支持50/60Hz单相200-240V或三相200-240V电压输入，允许±10%的电压波动范围，适配不同地区电网环境。电源容量仅3.0kVA，极限压力下运行功率约1.1kW，相较于同级别产品能耗降低约20%，配合智能调速技术可根据实际抽气需求自动调节电机转速，进一步实现节能降耗。

（三）物理与环境参数

泵体采用高强度铸铁与合金钢材质打造，整机重量约75kg，进气口与排气口均采用NW40标准接口，便于与各类真空系统快速对接。冷却方式为高效风冷设计，无需外接冷却水管道，工作噪音低至58dB(A)，接近日常办公室环境音量，极大降低对操作环境的噪音干扰。设备符合CE、UL等国际安全认证标准，可在-10℃至40℃的环境温度下稳定运行。

三、产品核心优势

（一）清洁无污染

无油干式运行模式消除了油蒸汽对被抽介质的污染，特别适用于半导体芯片制造、生物医药研发、食品真空包装等对纯度要求的领域，有效保障产品品质与实验数据准确性。

（二）低运维成本

精密的转子间隙设计与耐磨材料应用，使泵体内部部件无接触运行，大幅减少磨损与故障概率。设备维护仅需定期清洁过滤器与检查密封件，相较于传统真空泵每年可节省约30%的维护费用与停机时间。

（三）高可靠性

采用多阶段罗茨抽气技术，配合智能温控与过载保护系统，可在大气压力下连续稳定运行而无过热、卡滞风险。即使面对含少量粉尘与腐蚀性气体的复杂工况，也能保持长期稳定的抽气性能。

四、典型应用场景

（一）工业制造领域

在半导体行业中，EV-A10为物理气相沉积（PVD）、溅射镀膜等工艺提供高清洁度真空环境，确保薄膜沉积均匀性；在锂电池生产中，用于电极干燥与电芯封装环节，快速抽取水分与惰性气体，提升电池性能与安全性。

（二）科研实验领域

支持质谱分析、电子显微镜、等离子体清洗等精密仪器的真空需求，为材料科学、生命科学等领域的研究提供稳定可靠的真空保障；在真空冷冻干燥实验中，高效的水蒸气抽速可大幅缩短样品干燥周期。

（三）通用真空场景

广泛应用于真空热处理、真空包装、检漏测试等通用工业场景，其便捷的操作与灵活的移动性，尤其适合中小批量多品种生产模式下的真空作业需求。