池田屋！MIYUKI 真空泄压阀 VR-N16
VR-N16 是日本 MIYUKI（三幸）株式会社推出的一款真空泄压阀（安全阀）。

池田屋！MIYUKI 真空泄压阀 VR-N16 

池田屋！MIYUKI 真空泄压阀 VR-N16 

VR-N16 是日本 MIYUKI（三幸）株式会社推出的一款带通风功能的真空泄压阀。该产品在排气压力超过大气压时自动释放压力以防止腔室压力过高，同时具备通气功能，适用于半导体制造设备、真空镀膜装置及各类真空工艺中的过压保护与气体导入控制场景。

结构与特点

VR-N16 在 R-N16 泄压阀的基础上增加了 通风功能，除过压保护外，还可通过压缩空气控制实现气动通风操作。开启压力可通过 旋转旋钮 进行调节，调节范围为 0.115 至 0.170 MPa（绝对压力）。泄压口（排气口）规格为 Rc1/8，通风气体入口规格为 Rc1/8。气缸为 单动式（常闭型），压缩空气供应口规格为 M5，所需气压为 0.4 至 0.6 MPaG。

法兰规格与连接方式

该型号的法兰规格为 NW16（ISO 2861），采用 NW/KF 快速法兰连接方式，可通过一触式夹具进行快速安装和拆卸，适用于真空管路的便捷连接。

CCS晰写速 SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣

HEIDON新东、KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基

SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤

RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等