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池田屋!MIYUKI 真空泄压阀 R-N16
池田屋!MIYUKI 真空泄压阀 R-N16
R-N16 是日本 MIYUKI(三幸)株式会社推出的一款真空泄压阀(安全阀)。该产品在排气压力超过大气压时自动释放压力,以防止真空腔体压力过高,保护真空设备(包括真空计)免受过压损坏,适用于半导体制造设备、真空镀膜装置及各类真空工艺中的过压保护场景。
结构与特点
R-N16 采用 机械式泄压结构,当腔体或管路内压力超过设定值时,阀门自动开启释放压力。开启压力可通过 旋转旋钮 进行调节,调节范围为 0.115 至 0.170 MPa(绝对压力)。泄压口(排气口)规格为 Rc1/8。该阀门为独立泄压功能型,无通风功能。
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