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池田屋!MIYUKI 手动L型阀 ABR-C100
池田屋!MIYUKI 手动L型阀 ABR-C100
ABR-C100 是日本 MIYUKI(三幸)株式会社 ABR 系列中的一款手动驱动 L 型阀。该系列采用 L 型流路设计,以手动旋转手柄操作,轴密封方式为波纹管密封(金属密封),全部规格均设计为可承受反向压力,适用于半导体制造设备、真空镀膜装置及各类真空工艺中的手动气体切换与隔离控制场景。
结构与特点
ABR-C100 采用 L 型流路结构,可实现真空管路的方向切换或分支控制。采用 手动旋转手柄操作,无需气源或电源即可完成阀门的开闭操作。轴密封方式为 波纹管密封(金属密封),采用 SUS316L 焊接波纹管,具有优良的真空密封性能和较长的使用寿命,泄漏量可达 1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s 以下。阀体材质为 SUS304 不锈钢,阀板密封件采用 氟橡胶 O 型圈。该阀门设计为可承受反向压力,适用于需要双向压力差的工艺场景。手柄材质为铝合金,实现了轻量化设计。
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