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池田屋!MIYUKI 手动L型阀 AEH-N40
池田屋!MIYUKI 手动L型阀 AEH-N40
AEH-N40 是日本 MIYUKI(三幸)株式会社 AEH 系列中的一款气动驱动 L 型阀。该系列在标准 L 型阀的基础上增加了中间停止功能,可将阀板在任意位置停止以实现慢速排气控制,适用于半导体制造设备、真空镀膜装置及各类真空工艺中需要分级排气控制的应用场景。
结构与特点
AEH-N40 采用 L 型流路结构,可实现真空管路的方向切换或分支控制。该阀门具备 全闭、中间停止、全开三位置停止功能,可通过气动控制将阀板停在任意中间位置,实现慢速排气与快速排气之间的切换控制。轴密封方式为 O 型圈密封,阀体材质为 SUS304 不锈钢,阀板密封件和轴密封件均采用 氟橡胶 O 型圈。本体耐热温度为 150°C 以下。使用寿命为 5×10⁵ 次。
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