精品！OTSUKA 线扫描薄膜厚度计
产品采用光谱干涉测量法，结合高速高精度膜厚计算引擎，可对薄膜的整个宽度和长度方向的厚度分布进行实时监测，适用于光学膜、功能性薄膜、涂布膜等卷材生产过程中的品质控制。

精品！OTSUKA 线扫描薄膜厚度计

精品！OTSUKA 线扫描薄膜厚度计

该在线式线扫描薄膜厚度计是日本 OTSUKA ELECTRONICS（大塚电子）株式会社推出的一款面向薄膜卷材连续生产线的在线厚度测量系统。产品采用光谱干涉测量法，结合高速高精度膜厚计算引擎，可对薄膜的整个宽度和长度方向的厚度分布进行实时监测，适用于光学膜、功能性薄膜、涂布膜等卷材生产过程中的品质控制。

测量原理

该设备基于光谱干涉法进行膜厚测量。测量头向薄膜表面垂直照射宽波段光，采集来自薄膜上下表面的反射光干涉信号，通过分析干涉光谱的周期计算出薄膜厚度。该光学测量方法具有非接触、非破坏的特点，可适应高速移动的薄膜测量需求。

膜厚测量范围

膜厚测量范围为 0.1 至 300 μm，可覆盖从薄型光学膜到较厚功能性涂层的厚度区间。该较宽的测量范围使其可适用于多种薄膜产品的在线检测。

测量速度与间隔

测量时间间隔最短为 1 ms，可用于在线连续测量场景。针对宽幅薄膜的应用需求，可通过增加传感器数量来扩展测量范围，满足不同幅宽（500 mm 至 10 m）的生产线检测需求。

设备规格与尺寸

测量头单元的外形尺寸为 81 mm（宽）× 140 mm（深）× 343 mm（高），质量约 4 kg（仅头部），体积小巧，便于集成至现有生产线的狭小空间。电源为 AC100V ±10%，功耗约 125VA。

应用场景与行业覆盖

该设备适用于以下领域的薄膜生产过程控制：

• 光学膜：偏光膜、相位差膜、AR 膜等

• 功能性薄膜：ITO 透明导电膜、硬涂层、阻隔膜等

• 涂布膜：粘着剂涂层、保护膜、离型膜等

• 电池隔膜：锂离子电池隔膜的厚度均匀性管理

同系列与相关产品

该在线式线扫描膜厚计与离线式型号（晶圆兼容型、标准离线型）形成互补，分别满足连续生产线上的实时监控和实验室/品管室的抽检测量需求。如需对更微小区域（如数十 μm 级）进行膜厚测量，可选用 OPTM 系列显微膜厚计。该系统支持与工厂自动化系统（如 PLC、SCADA）联动，测量数据可实时传输至上位机用于工艺反馈控制，用户可在系统集成时向厂家提出通信协议和接口规格要求。