EBARA荏原机械 干式真空泵 EV-S20 产品介绍 我们 的转子设计和空转功能实现了 高水平的节能和紧凑性。这有助于降低运行成本。此外，还提供耐腐蚀材料选项，可用于广泛的应用，从轻负载应用（例如负载锁和 SEM）到腐蚀过程。