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更新时间：2026-05-09 
浏览次数：16在半导体制造、分析仪器、实验室及医疗设备等领域，对真空泵的清洁度和可靠性要求日益提高。传统油旋片泵因油蒸汽返流和废油处理问题，逐渐被无油干式真空泵替代。爱发科（ULVAC） 作为的真空技术提供商，其DA-30D 干式机械泵是一款小型、无油的干式真空泵，采用多级爪式或罗茨式结构，能够在不使用任何工作液的情况下获得清洁的中等真空。该泵以其结构紧凑、运行安静、免频繁维护的特点，成为配套分子泵前级、实验室粗真空以及各种分析仪器的理想选择。
一、 产品概述与设计理念
DA-30D 属于 ULVAC 的 DA 系列干式泵，专为需要“清洁、干燥"真空环境的精密仪器和工艺设计。其设计理念围绕“无油、紧凑、静音"展开。
与依赖润滑油密封和润滑的油泵不同，DA-30D 的泵腔内没有任何油类介质，利用一对同步反向旋转的特殊转子，通过转子之间以及转子与泵腔之间的微小缝隙实现气体压缩和输送。这从根本上杜绝了碳氢化合物污染，确保排气口不排出油雾，不会污染工作环境或破坏高真空系统的洁净度。
DA-30D 的特别之处在于其高气镇容量。它能够处理大量水蒸气而不会像油泵那样发生油乳化，因此非常适合用于冷冻干燥、真空干燥以及从潮湿腔体中抽气。该型号通常采用两级或三级压缩，在紧凑的机身内实现了从大气压到极限压力约 1 Pa 的抽气能力，无需另配前级泵。
二、 技术参数
| 项目 | 规格参数 |
|---|---|
| 型号 | DA-30D |
| 泵类型 | 多级干式机械泵（爪式 / 罗茨式组合） |
| 无油保证 | 无油（泵腔内无油，轴承使用密封润滑脂） |
| 极限压力 | ≤ 1.0 Pa（空载，极限全压） ≤ 0.5 Pa（配合气镇关闭时，部分配置可达） |
| 抽气速度 | 约 30 L/min（50Hz） 约 36 L/min（60Hz） |
| 启动压力 | 大气压（约 1013 hPa） |
| 排气口压力 | 大气压 |
| 吸气口 | KF16（NW16） 法兰 |
| 排气口 | KF16（NW16） 法兰（带消音器可选） |
| 电机输出 | 约 90 W（直流无刷电机或单相电机，视版本） |
| 电源 | 单相 100-115V / 200-240V，50/60Hz（宽电压设计） |
| 额定电流 | 约 1.2 A（100V 时） |
| 重量 | 约 8.5 kg（超轻量设计） |
| 外形尺寸 | 约 宽360 × 高170 × 深140 mm（不含突起） |
| 噪音 | ≤ 50 dB(A)（非常安静，适合实验室） |
| 水蒸气处理能力 | 最高约 30 g/h（需开启气镇阀，@ 20℃ 室温） |
| 使用环境温度 | 10 ～ 40℃ |
| 使用环境湿度 | ≤ 80% RH（无结露） |
| 气镇（Gas Ballast） | 标配可调气镇阀（用于排出水汽、轻溶剂） |
| 内部容积(泵腔) | 约 0.4 L |
| 气体接触材质 | 泵体：铝合金（特殊表面处理耐腐蚀） 转子：铝合金（涂层：Ni-P或无定形碳，硬度高） 密封：FKM（氟橡胶）或 FFKM（耐腐选配） |
| 轴承润滑 | 两侧轴承采用长寿命润滑脂密封轴承（免维护） |
| 冷却 | 自然空冷（低发热量） |
| 防护等级 | IP20 |
| 标准附件 | 电源线 2m 带插头、KF16 中心支架、KF16 夹箍 2个、KF16 盲板法兰 1个、O型圈、说明书 |
| 可选配件 | 进气口粉尘过滤器、排气口油雾过滤器（虽然无油，但用于隔绝对环境微颗粒）、远程控制电缆、隔音箱 |
关键性能解读：DA-30D 的核心优势在于 1 Pa 的极限压力 和 30 L/min 的抽速 组合，这对于一款仅 8.5 kg 的台式泵非常出色。配合气镇阀，可抽除大量水汽，不会损坏。
三、 结构与操作特性
结构特点：
多级转子设计：为了仅用一级就能从大气压抽到 1 Pa，DA-30D 内部集成了 2-3 级压缩腔（爪式无接触传输）。气体从进气口进入第一级，被压缩后送入第二级，逐级增压，最后从排气口排出。这种设计无需级间阀门，可靠性高。
直接驱动：电机直接驱动转子，无需皮带，减少了维护点和噪音。
全面无油：泵腔内没有任何液体。轴承和齿轮（若有）与气体隔离，使用高品质润滑脂密封，终生免维护。
操作特性：
一键启动：按下电源开关即可运行，无需任何预热或准备。
低噪音：干式泵通常比同规格油泵噪音低很多（50 dB(A) 相当于安静的图书馆），非常适合放在实验台旁边。
气镇阀的使用：当抽除潮湿气体（例如从真空干燥箱抽出湿空气）或含有少量可凝性蒸汽时，应打开气镇阀。气镇阀会充入少量干燥空气进入泵的压缩腔，防止水蒸气冷凝成水腐蚀内部零件。打开气镇阀后，极限压力会上升至约 10-30 Pa，这是正常现象。
维护简单：主要维护就是定期（例如每年）清扫进气口过滤网（如有）。由于无油，无需像油泵那样定期换油和处理废油。寿命期内无需拆机保养。
四、 主要用途与应用领域
凭借其清洁无油、安静、轻便、可抽水汽的特性，DA-30D 在以下领域应用广泛：
1. 分析仪器（最重要应用）
质谱仪（GC-MS、LC-MS、ICP-MS）：作为涡轮分子泵的前级泵（即“支持泵"，Backing Pump）。它为分子泵提供所需的粗真空（约 10 Pa 以下）和排气路径。DA-30D 的无油特性保证了质谱分析腔体不会受到碳氢化合物背景噪声的干扰，这对于痕量分析至关重要。
电子显微镜（SEM/TEM）：同样作为分子泵或离子泵的前级泵，确保样品室和电子枪的清洁真空。
表面分析仪器（XPS/AES）：需要超高真空系统的前级，DA-30D 提供可靠的初始抽空。
2. 实验室粗真空
真空干燥箱：当需要从样品中去除水分或溶剂时，DA-30D 可以快速将箱体抽空，并能耐受大量水汽而不损坏（对比油泵会乳化失效）。
冷冻干燥机：在升华干燥阶段，需要持续抽出水蒸气。DA-30D 的高水汽处理能力非常适合。
手套箱与真空转移：为手套箱的附件腔体或样品转移装置抽真空。
真空抽滤：用于生物、化学实验中的溶剂快速抽滤，提供清洁真空，避免油雾污染样品。
3. 半导体与电子制造
晶圆传送：用于洁净室环境中的晶圆真空抓取和传送带吸附。
封装检漏：作为氦质谱检漏仪的粗抽泵和辅助泵。
薄膜沉积辅助：在小型溅射台或蒸发镀膜机中作为粗抽泵，为后续的分子泵或冷凝泵提供初始低真空。
4. 医疗与生物设备
灭菌器：用于排出灭菌腔内的空气（预真空阶段），提高蒸汽灭菌效率。
吸引器：在一些需要无油、低噪音的医疗抽吸设备中作为核心部件。
离心浓缩仪：用于去除生物样品（如DNA/RNA）中的溶剂，DA-30D 提供温和的真空环境，防止样品起泡飞溅。
5. 环境监测
空气采样器：用于采集大气中的特定气体成分（如VOCs），通过泵将空气抽入吸附管，要求泵不污染样品。
6. 其他
包装机械：用于真空包装，特别是要求包装袋内无油雾残留的食品或电子产品包装。
真空夹具：在自动化产线上用于抓取轻质零件（如镜头、芯片）。
五、 维护与使用注意事项
进气口过滤：强烈建议在泵的进气口前安装一个合适的过滤器（推荐 < 40 μm 的网式或烧结金属过滤器）。干燥箱等设备产生的粉尘、纤维会严重损害转子和泵腔，导致性能下降甚至卡死。
气镇阀操作：每次处理水汽后，在结束抽气前，可关闭气镇阀，再运行几分钟，以便泵内部干燥。如果泵长期不运行，应关闭进气口，并运行泵 5-10 分钟，利用发热排出内部湿气。
避免超时过载：DA-30D 设计用于间歇工作或连续抽气，但如果长期在压差下（如直接从大气抽到 1 Pa）且气路畅通，泵表面温度会上升较快（约 70-80℃）。这属正常现象。但若温度过高（>100℃），应检查冷却条件。
检查异味：如果从排气口闻到尖锐、焦糊味，可能内部有机械摩擦或电机过热，应立即停机检查。
定期检查连接：检查 KF 法兰的 O 型圈是否损坏、老化，以确保密封性。
六、 与其他真空泵的对比
| 项目 | DA-30D（干泵） | 小型油旋片泵（如GLD-051） | 隔膜泵 |
|---|---|---|---|
| 极限压力 | ≤ 1 Pa | 0.5 ~ 1 Pa | 10 ~ 50 kPa（很差） |
| 抽速 30L/min | 30 | 50 ~ 100 | 10 ~ 20 |
| 洁净度 | 无油（排气清洁） | 含油雾，需要过滤 | 无油 |
| 水蒸气处理 | 良好（带气镇） | 差（气镇效果弱，油乳化风险） | 优秀(但极限压力低) |
| 维护 | 低（无油更换） | 高（换油、挥发油、废油处理） | 中（膜片定期更换） |
| 噪音 | 安静（50 dB） | 较大（55-65 dB） | 安静（45-55 dB） |
| 用途 | 分子泵前级、分析仪器、干燥 | 机械加工、真空炉初抽 | 采样、过滤 |
总结
爱发科 ULVAC DA-30D 干式机械泵是一款集清洁无油、静音紧凑、高水汽耐受于一身的多用途小型干式真空泵。它以 30 L/min 的抽速和 1 Pa 的极限压力，胜任了绝大多数实验室和仪器设备对“前级低真空"的需求。其坚固的铝制泵体和免维护轴承设计，使其成为油旋片泵的升级换代产品，特别适合那些不能容忍油污染、需要频繁处理潮湿气体或必须在安静环境下运行的场景。对于质谱仪、电子显微镜、干燥设备以及各类科研仪器的使用者而言，DA-30D 是保证真空系统洁净度和可靠性的理想基础组件。