池田屋新品：PILLAR SPELA 300风囊泵PS-10MA 氟树脂接液适配药液输送

摘要： 池田屋实业近日上新PILLAR SPELA 300风囊泵PS-10MA。该产品接液部全部采用耐化学性出色的氟树脂（PTFE、PFA），风囊使用特殊PTFE并采用R形状弯曲设计，面向药液供给管路等场景提供输送方案。

内容：

在半导体与液晶工厂的药液供给管路中，输送泵的接液材料与风囊耐久性，关系到管路运行的连续性与维护安排。池田屋实业近日上新PILLAR SPELA 300风囊泵PS-10MA，该产品属于SPELA 300风囊泵PS系列中温用机型，主要面向药液供给管路等应用场景。

材料配置方面，PS-10MA接液部全部使用耐化学性出色的氟树脂（PTFE、PFA），可适应药液输送对材料兼容性的要求。风囊作为泵的核心运动部件，其材料采用抗弯曲疲劳特性出色的特殊PTFE，弯曲部分通过特殊加工形成R形状，以分散应力，从而支持风囊的长寿命化。产品资料中给出PS-E、PS系列与传统PE系列的脉压曲线对比，供使用人员参考脉动表现。

从规格看，PS-10MA泵连接口径为IN φ19 / OUT φ12，最大吐出量0.11 L/min，使用液体温度10～40℃，供给空气压力0.2～0.3 MPaG，最大吐出压力0.25 MPaG，每个冲程吐出量0.2 L，重量约10 kg，泵外形尺寸为435L×218W×157H mm。泵连接口型号因接头种类而异，订购时需注明具体要求。

在系统构成上，SPELA 300风囊泵可与PILLAR接头、管子及阀门等产品配合使用，用于药液槽、清洗槽与过滤器之间的管路连接。产品备注提示，使用流体为CMP研磨液时，建议选用CMP研磨液专用的PC系列研磨液用泵；因使用有机液体等流体而需要防爆处理时，可另行咨询带防爆规格接近传感器的泵型。池田屋方面表示，该产品的引入补充了其在流体输送类产品上的供应选择，围绕选型与管路配置可提供相应的产品信息与技术支持。