池田屋新品：PILLAR SPELA 300风囊泵PS-E20MA 内置脉压调节器实现低脉动

池田屋新品：PILLAR SPELA 300风囊泵PS-E20MA 内置脉压调节器实现低脉动

池田屋新品：PILLAR SPELA 300风囊泵PS-E20MA 内置脉压调节器实现低脉动

摘要： 池田屋实业近日上新PILLAR SPELA 300风囊泵PS-E20MA。该产品接液部全部采用耐化学性出色的氟树脂（PTFE、PFA），内置脉压调节器功能，泵单体即可实现低脉动，面向清洗装置循环管路及药液供给场景提供输送方案。

内容：

在半导体、液晶等工厂的药液供给与清洗装置循环管路中，泵送环节的脉动水平与接液材料的耐化学性，直接影响管路运行的稳定性与维护周期。池田屋实业近日上新PILLAR SPELA 300风囊泵PS-E20MA，围绕低脉动输送与耐化学性材料配置进行了产品设计。

PS-E20MA属于SPELA 300风囊泵PS-E系列中温用机型。在材料层面，该产品接液部全部使用耐化学性出色的氟树脂（PTFE、PFA），适用于对药液兼容性与洁净度有要求的输送场景。风囊材料采用抗弯曲疲劳特性出色的特殊PTFE，风囊弯曲部分采用R形状，通过特殊加工分散应力，有助于延长风囊的使用周期。

脉动控制是该产品的一项设计重点。PS-E20MA内置脉压调节器功能，仅靠泵单体即可实现脉压的降低，无需另行安装脉压调节器。这一配置在简化管路构成的同时，也为设备布局留出空间，有利于实现紧凑且低成本的设计。从规格看，PS-E20MA泵连接口径为IN φ19 / OUT φ19，最大吐出量0.22 L/min，使用液体温度10～40℃，供给空气压力0.2～0.3 MPaG，最大吐出压力0.25 MPaG，每个冲程吐出量0.2 L，重量约20 kg，泵外形尺寸为480L×261W×201H mm。

在应用层面，PS-E20MA可用于清洗装置循环管路及药液供给管路等场景。产品备注提示，使用流体为CMP研磨液时，建议选用CMP研磨液专用的PC系列研磨液用泵；因使用有机液体等流体而需要防爆处理时，可另行咨询带防爆规格接近传感器的泵型。池田屋方面表示，该产品的引入补充了其在流体输送类产品上的供应选择，围绕选型与配置可提供相应的产品信息与技术支持。