池田屋新品 IKC入江工研 真空用柔性管 VFP1025-500L

摘要

入江工研株式会社（IKC）推出真空用柔性管新品VFP1025-500L，隶属VFP 1000系列。该新品为NW-KF法兰型不锈钢真空柔性管，采用新型VFP结构，公称口径25A，内径25.0mm、外径32.2mm，壁厚0.22mm，最小弯曲半径70mm，反复弯曲半径230mm。产品长度500mm，两端为固定×旋转法兰，氦气泄漏率小于1×10⁻⁷ Pa·m³/s，适用于涡轮分子泵排气及设备连接配管等真空系统。

正文

在半导体制造、真空镀膜及分析仪器等系统中，真空管路的柔性连接对吸收设备振动、补偿安装误差具有重要作用，同时对管材的耐腐蚀性与泄漏率提出了相应要求。入江工研株式会社（IKC）正式推出真空用柔性管新品VFP1025-500L，该新品隶属VFP 1000系列NW-KF法兰型。

VFP1025-500L新品在结构上属于VFP新型系列。IKC为真空设备的配管连接提供了便利、柔软且耐腐蚀的不锈钢制柔性管，并在传统4种规格品（VF）的基础上新增了VFP系列。该产品两端采用NW-KF法兰连接（固定×旋转），公称口径为25A。在尺寸方面，内径（Bi）25.0mm、外径（Bo）32.2mm、管壁厚0.22mm，采用U型波纹结构，最小弯曲半径为70mm，可反复弯曲半径230mm。法兰与管材均采用不锈钢材质，具备耐腐蚀性。

在真空性能方面，该产品的氦气泄漏率小于1×10⁻⁷ Pa·m³/s。压力条件为内部真空、外部大气压，温度条件为常温（烘烤时最高250℃）。产品长度为500mm，IKC同时提供500、1000、1500、2000mm等标准长度，并可根据需求定制非标准长度及法兰。

在型号指定方面，该系列采用标准化的命名规则。以本次型号VFP1025-500L为例：VFP代表新型真空柔性管（传统品为VF）；1025代表NW-KF法兰类型与公称口径25A；500L代表长度为500mm。用户在进行选型时，需注意相同尺寸下存在VF与VFP两种类型，其型式首字母不同。

在该系列的产品构成中，VFP 1000系列（NW-KF型）涵盖10A（VFP1010）、16A（VFP1016）、25A（VFP1025）、40A（VFP1040）、50A（VFP1050）、65A（VFP1063）、80A（VFP1080）与100A（VFP1100）等规格，内径覆盖12.4mm至100.0mm。除NW-KF法兰型外，IKC还提供CF法兰型（VFP 2000）、JIS法兰型（VFP 3000）与管端型（VFP 4000）等多种接口形式，以满足不同真空系统的连接需求。

在应用领域方面，该产品适用于涡轮分子泵的排气配管、真空设备的连接配管，以及需要吸收振动和位移的真空管路系统。用户在安装、连接与使用时，需注意安装姿态并确认产品规格；该产品自出厂之日起提供18个月的质保期。