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更新时间:2026-08-19
浏览次数:17摘要: 在精密测量、半导体检测及激光加工设备中,直驱转台的角度定位精度与轴向跳动直接关系到加工质量与测量可靠性。池田屋近期推出的日本MTL(Microtech Laboratory)MRS-7056-21B型高精度中空直驱转台,采用φ25mm中空轴设计,以φ70mm机身实现3.1Nm峰值扭矩及20μm标准轴向跳动(高精度选型5μm),为精密测量、激光加工及检测装备提供了零背隙高精度直驱旋转解决方案。
正文:
池田屋近期推出日本MTL MRS-7056-21B高精度中空直驱转台新品。在精密测量、半导体检测及激光加工设备中,直驱转台的角度定位精度与轴向跳动直接关系到加工质量与测量可靠性。传统转台多采用蜗轮蜗杆或齿轮传动结构,存在背隙、磨损与精度退化问题,难以满足亚角秒级定位与微米级跳动要求。为满足国内超精密设备领域对高精度直驱转台的需求,池田屋近期宣布,正式推出日本MTL(Microtech Laboratory)MRS-7056-21B型高精度中空直驱转台新品。
MTL(Microtech Laboratory)是一家源自日本的微型直驱电机专业制造商,在高精度直驱转台领域拥有深厚技术积累。MRS-7056-21B型属于MRS-70高精度中空转台系列,采用φ25mm中空轴设计,支持线缆、光路或流体管路穿过,便于系统集成。该型号转台外径φ70mm,高度56mm,采用无铁芯直驱结构,取消减速机消除回程间隙,实现零背隙运动控制。重复定位精度±1脉冲,标准品轴向跳动20μm,高精度选项(型号末尾带R)可达5μm,适用于对旋转精度有较高要求的应用场景。
在性能参数方面,MRS-7056-21B型在48V供电条件下,瞬时最大扭矩达3.1Nm,连续堵转扭矩1.0Nm,连续额定扭矩1.0Nm,瞬时最大输出功率90W。额定转速200rpm,最高转速200rpm。内置21bit绝对值编码器,分辨率达2,097,152脉冲/转,可实现高精度的角度定位。转子磁极数20极,线间电枢电阻1.8Ω,电感3.3mH,等效感应电压常数31V/krpm,等效扭矩常数0.30Nm/Arms。惯性力矩9.92kg·cm²,允许轴向载荷500N,质量约0.86kg。转台端面跳动标准品20μm,高精度选型5μm,配备位置定位销孔,便于精密安装与重复定位。
在应用场景方面,MRS-7056-21B型高精度中空直驱转台广泛适用于精密测量与光学检测设备、半导体晶圆检测与探针台、激光加工与微细钻孔装置、高精度旋转分度台,以及各类需要中空穿线、零背隙与高精度角度定位的自动化设备。池田屋表示,MTL作为高精度直驱转台领域的专业制造商,其MRS-70系列在设计之初便充分考量了超精密设备对角度定位精度与轴向跳动的实际需求。未来,池田屋将持续携手MTL,深耕高精度直驱转台技术领域,为国内
装备行业提供可靠的核心部件支持。