池田屋新品VAT 05.2高压传输插件05212-LA44正式发布

摘要：
近日，池田屋实业有限公司宣布正式推出瑞士VAT公司05.2系列高压传输插件（型号：05212-LA44）。该产品专为负载锁定与工艺腔室隔离应用设计，采用铝制阀体与气动双作用执行器，压力范围覆盖1×10⁻⁹mbar至1.1bar（绝对压力），泄漏率低于1×10⁻⁹mbar·L/s，适配50mm×336mm特殊法兰接口。该型号为大尺寸基板或样品的真空传输提供紧凑、高性能的隔离解决方案。

正文：

在半导体制造、平板显示及薄膜沉积等真空工艺中，负载锁定（Load Lock）与工艺腔室之间的高效隔离与快速传输是保障生产节拍与工艺良率的关键环节。随着基板尺寸的不断增大，传统传输阀门在空间受限的传输通道中难以兼顾大尺寸通过能力与可靠密封，且在高真空与低正压之间的切换中密封性能面临挑战。针对这一行业需求，池田屋实业有限公司正式引入瑞士VAT公司05.2系列高压传输插件（型号：05212-LA44）。该产品的推出，为大尺寸基板传输应用提供了兼具紧凑设计、高可靠密封与快速动作的真空传输解决方案。

型号05212-LA44的核心技术优势在于其大尺寸矩形传输通道设计与优异密封性能的创新结合。该产品适配50mm×336mm的特殊法兰接口，专为大尺寸基板或样品的长条状传输通道优化设计，可高效实现较大尺寸样品的真空传输。压力范围覆盖1×10⁻⁹mbar至1.1bar（绝对压力），适配从高真空到低正压的宽范围工况。泄漏率低于1×10⁻⁹mbar·L/s，密封性能优异。闸板压差1.1bar，开口处压差≤0.03bar，可在压差条件下可靠动作。关闭时间≤1.0秒，动作迅速，满足高效率生产节拍要求。阀体材质为铝，重量14kg，轻量化设计便于安装与维护。执行器为气动双作用，阀体最高耐受温度120℃，执行器最高80℃，位置指示器最高80℃。

在结构设计与操作灵活性层面，型号05212-LA44同样表现。产品提供多种升级选项，包括替代材料、O型圈密封、替代密封材料、不同规格电磁阀及止回阀（可防止气压损失）等，用户可根据实际应用需求灵活配置。

从典型应用场景来看，型号05212-LA44适用于半导体PVD/CVD设备中大尺寸基板的负载锁定与工艺腔室隔离、平板显示制造中的大尺寸玻璃基板传输隔离、大面积真空镀膜系统的样品传输，以及需要大尺寸传输隔离的各类真空工艺设备等场景。池田屋技术团队指出，05.2系列在精密测量与自动化控制方面表现稳健，是大尺寸真空传输与腔室隔离应用的理想选择。

池田屋实业有限公司表示，此次将VAT 05.2系列高压传输插件05212-LA44引入国内市场，旨在为本土半导体与制造企业提供兼具大尺寸通过能力与高可靠密封的真空传输流体管理解决方案。未来，池田屋将持续围绕精密测量、自动化控制与流体管理三大方向深耕，助力中国真空技术的装备升级与效能提升。