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池田屋新品坂口电热MTP-500微型氮化铝热板

更新时间:2026-07-09      浏览次数:10

池田屋新品坂口电热MTP-500微型氮化铝热板

池田屋新品坂口电热MTP-500微型氮化铝热板


摘要: 在化工及半导体精密制造领域,微小空间的快速、均匀加热是工艺控制的核心挑战。池田屋全新引入的坂口电热(SAKAGUCHI)MTP-500型微型氮化铝热板,以氮化铝(AlN)超高导热基板与内置K型热电偶一体化设计,实现了400℃连续工作温度与±1℃表面温度均匀性,为半导体封装、微电子测试及精密实验提供了极速响应、高精度的微型热控解决方案。

正文:

在半导体芯片封装、MEMS器件测试、微流控反应及精密光学元件温控等场景中,传统氧化铝陶瓷加热板因导热慢、温差大、体积庞大等局限,难以满足微区高温、快速升降温与高均匀性的严苛工艺要求。市场亟需一种兼具超高导热、超薄结构与精准控温能力的微型加热元件。为应对这一挑战,池田屋推出坂口电热MTP-500型微型氮化铝热板。

MTP-500采用高纯度氮化铝(AlN)陶瓷基板,其热导率达170~210W/m·K,是传统氧化铝陶瓷的5~8倍,能够将热量瞬间传导至整个加热面,实现极速均温。加热器内部采用精密光刻蚀刻合金发热层,功率密度高达13.2W/cm²,微型体积内输出强热量,配合AlN基板的低热膨胀特性(与硅芯片高度匹配),确保在急热急冷工况下无应力、无变形。

在规格参数方面,MTP-500板面尺寸为50×50mm,厚度仅3.0mm。额定电压100V AC,额定功率330W±25%,大气中连续工作温度400℃、峰值500℃,真空环境下性能一致。内置K型热电偶实现距离测温,响应时间≤0.1秒,控温精度达±0.5℃,有效发热区温度均匀性≤±1℃。绝缘电阻≥100MΩ(DC500V),耐压3kV/1min,确保高温下的电气安全。

在安装便利性方面,MTP-500支持螺丝固定、导热胶粘贴及载台嵌装等多种方式。其微型超薄结构可轻松嵌入芯片载台、探针台、微型反应釜等狭小空间,解决传统加热板体积大、无法集成的痛点。产品兼容大气与真空(10⁻³Pa)双环境,高致密AlN陶瓷无气孔、无粉尘、低放气率,适配半导体洁净室及高纯度实验场景。

行业观察人士指出,在半导体与精密化工设备日趋微型化、高精度的趋势下,兼具超高导热、极速响应与精准控温的氮化铝热板正成为热控系统的核心组件。池田屋此次引入的MTP-500型微型氮化铝热板,以其AlN基板的超高导热特性与±0.5℃级控温精度,为国内用户在微型精密加热领域提供了工业级方案。

综合来看,该产品的推广应用,有助于提升半导体封装、微电子测试与精细化工实验在微小空间加热环节的热控精度与响应速度,为精密制程提供坚实的热管理支撑。