池田屋精品！日本ULVAC爱发科 涡旋式干泵 DIS-252简介

ULVAC爱发科 DIS-252 是一款采用双绕式涡旋结构的两阶段干式真空泵，适用于分析设备、气体回收系统、镀膜设备、涡轮分子泵前级及半导体制造工艺等需要清洁高真空环境的工业与科研场景。ULVAC（爱发科株式会社）在真空技术领域拥有长期的技术积累，DIS系列涡旋干泵以其无油设计和稳定的极限真空度在实验室及半导体行业中有较高应用比例。

在排气性能方面，DIS-252 的设计排气速度为250 L/min（50Hz）/ 300 L/min（60Hz），极限压力可达1.6 Pa。该产品具备从大气压到极限压力全范围运行能力，无需旁通管路即可连续工作，适用于需要频繁抽真空至不同压力区间的工艺场景。

在结构与设计方面，DIS-252 采用双绕式涡旋结构，即1根轨道螺旋与2根固定螺旋的组合设计，实现了高效排气和稳定的极限真空度。泵腔内无油运行，排气清洁，不会发生真空油的返流和油雾，适用于对清洁度要求较高的分析仪器和半导体工艺。涡旋式结构运行平稳，噪音较低，适合在实验室和安静环境中使用。

在电气与认证方面，该产品支持单相（100V/115V/200V/230V）和三相（200V/208V/230V/380V/400V/415V/460V）多种电压规格，可适应不同国家和地区的现场电源条件。已通过CE和cTUV认证，产品安全性和品质符合国际标准。电动机功率为400W，吸气口径为KF-25，排气口径为KF-16。

在维护方面，DIS-252 的维护周期可通过计时表控制，便于制定预防性维护计划，减少突发停机风险。使用环境温度范围为5～40℃，适用于室内安装。质量方面，单相规格为25kg，三相规格为23.0kg。外形尺寸单相为264(W)×397(L)×338(H)mm，三相为264(W)×367(L)×338(H)mm。

在应用领域方面，DIS-252 广泛用于质谱仪、电子显微镜等分析设备的前级抽真空，稀有气体回收与循环系统，溅射、蒸镀等真空镀膜工艺，涡轮分子泵的前级泵，氦检漏仪的真空系统，以及半导体制造工艺中的清洁排气场景。该产品不适用于爆炸性、易燃性、有毒或腐蚀性气体的排气，吸入粉末或生成物可能导致泵损坏，需根据实际工况安装吸气阱等防护装置。

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